مضخة فراغ خالية من الزيت ذات الاهتزاز المنخفض للغاية LG-90 90 م 3 / ساعة لتصنيع أشباه الموصلات

• التشغيل الجاف بدون زيت:لا يتطلب أي تشحيم في غرفة العمل، مما يمنع تلوث رذاذ الزيت وتصريف مياه الصرف الصحي. يوفر فراغًا نظيفًا بنسبة 100% ضروريًا لمسابك أشباه الموصلات، ومصانع تجميع الإلكترونيات، ومنشآت تصنيع الخلايا الكهروضوئية حيث يكون نقاء العملية غير قابل للتفاوض.
• أداء فراغ عالي:يحقق ضغطًا نهائيًا منخفضًا يصل إلى ≥5 باسكال مع سرعة ضخ تبلغ 90 مترًا مكعبًا في الساعة عبر مناطق التفريغ العالية، مما يضمن الإخلاء السريع وضغط الاحتفاظ المستقر للدورات الصناعية الصعبة.
• الإدارة الحرارية المبردة بالهواء:يحافظ نظام تبريد الهواء الفعال مع التصميم الأمثل لتبديد الحرارة على درجة حرارة تشغيل ثابتة عند 4 كيلو وات من الخدمة المستمرة، مما يؤدي إلى القضاء على الانجراف الحراري وإطالة عمر المكونات وفقًا لجداول الإنتاج التي تعمل على مدار الساعة طوال أيام الأسبوع.
• مسار التدفق المقاوم للتآكل:تتوفر مكونات التدفق من خلال سبائك التيتانيوم، أو الفولاذ المقاوم للصدأ SS316، أو بطانة النانو سيراميك للتعامل مع الغازات القابلة للتكثيف، والأبخرة الحمضية، وبخار الماء، والوسائط المسببة للتآكل بشكل طفيف دون تدهور الأداء على مدار فترات الخدمة الممتدة.
• نظام التطهير التلقائي:تقوم آلية التنظيف الذاتي المتكاملة تلقائيًا بإزالة المكثفات المتراكمة والجسيمات الدقيقة أثناء التشغيل، مما يحافظ على الخلوص الداخلي الأمثل ويمنع فقدان الكفاءة في بيئات أشباه الموصلات والإلكترونيات كثيرة المتطلبات.
• حزمة تحمل وختم متميزة:مجهزة بمحامل دقيقة SKF/NSK وموانع تسرب ميكانيكية مصممة هندسيًا ألمانيًا لتحقيق استقرار دوران فائق، وفترات صيانة ممتدة تتجاوز 15000 ساعة، واحتواء موثوق لغازات المعالجة.
• عملية منخفضة الاهتزاز منخفضة الضوضاء:تحقق الدوارات اللولبية المزدوجة المتوازنة ديناميكيًا مع المقاطع الحلزونية الأرضية الدقيقة مستويات ضوضاء تبلغ ≥73 ديسيبل، مما يجعل المضخة مناسبة للمنشآت الحساسة للضوضاء بما في ذلك المختبرات والغرف النظيفة والمجمعات الصناعية الحضرية.
• مجموعة الشهادات الدولية الكاملة:تم تصنيعها بموجب إدارة الجودة ISO 9001، ومعتمدة وفقًا لمعايير السلامة CE، ومصحوبة بتقارير اختبار معتمدة من IAF/CNAS، مما يوفر وثائق كاملة للتخليص الجمركي والامتثال التنظيمي في جميع أنحاء العالم.

تستفيد مضخة التفريغ اللولبية الجافة الخالية من الزيت من سلسلة LG-90 من تقنية الضغط اللولبي المزدوج المتقدمة لتوفير أداء تفريغ لا مثيل له دون أي مواد تشحيم في غرفة المعالجة. يدور زوج متطابق من البراغي الفولاذية المصنوعة من سبائك الصلب الدقيقة المُشكَّلة باستخدام الحاسب الآلي في دوران مضاد متزامن داخل مبيت متسامح بإحكام، مما يخلق سلسلة تقدمية من خلايا الضغط المختومة التي تنقل الغاز بشكل مستمر من منفذ الشفط إلى العادم. تحقق آلية الإزاحة الإيجابية هذه كفاءة حجمية متسقة عبر نطاق ضغط التشغيل بأكمله من الضغط الجوي إلى الفراغ النهائي، على عكس المضخات الفصية أو المخلبية التي تعاني من التسرب الداخلي عند نسب ضغط أعلى.

تم تصميم LG-90 خصيصًا لمسابك أشباه الموصلات ومصانع تجميع الإلكترونيات ومنشآت تصنيع الخلايا الكهروضوئية، وهو يعالج المتطلبات التشغيلية الحرجة التي لا تستطيع المضخات التقليدية المغلقة بالزيت تلبيتها: الحرية المطلقة من التلوث الخلفي، والتسامح مع أحمال البخار القابلة للتكثيف، والتوافق مع كيمياء العمليات العدوانية إلى حد ما. يعمل نظام الإدارة الحرارية المبردة بالهواء على تنظيم درجة حرارة التشغيل بشكل فعال ضمن نطاق ضيق، مما يمنع التمدد الحراري الذي يسبب تغيرات في خلوص الأطراف وانحراف الكفاءة في التصميمات الأقل حجمًا. بالنسبة لبيئات الإنتاج متعددة النوبات، تقبل المضخة نطاق درجة حرارة مدخل غاز المعالجة المباشرة من -20 درجة مئوية إلى +80 درجة مئوية دون الحاجة إلى تكييف مسبق، مما يؤدي إلى تبسيط تكامل النظام وتقليل تكاليف المعدات المساعدة.

تتميز هندسة تجويف المضخة بمسار غاز قصير ومستقيم بدون صمامات داخلية، ولا أسطح تلامس، ولا توجد مناطق ميتة يمكن أن تتراكم فيها البقايا. تتميز هذه البنية بطبيعتها بأنها مقاومة للتلوث الجسيمي وابتلاع البزاقة السائلة، مما يوفر مستوى من قوة العملية يترجم مباشرة إلى وقت تشغيل أعلى للإنتاج. تخضع كل مجموعة دوارة لموازنة ديناميكية ثنائية المستوى وفقًا للمعيار ISO 1940 Grade G2.5 أو أفضل، ويتم التحقق من ذلك عن طريق القياس المحوسب، مما يضمن بقاء الاهتزاز المتبقي عند سرعة التشغيل أقل من 1.8 مم/ثانية RMS - وهي معلمة مهمة لتطبيقات أشباه الموصلات والإلكترونيات حيث يمكن أن يؤثر نقل الاهتزاز على العمليات النهائية الحساسة أو الأجهزة الدقيقة.

يتم تطبيق إجراءات ضمان الجودة الشاملة في جميع أنحاء سلسلة التصنيع: تحليل التركيب الكيميائي للمواد الخام، والتحقق من الأبعاد أثناء العملية باستخدام معدات CMM بدقة ±5 ميكرومتر، واختبار تسرب مطياف كتلة الهيليوم لكل مضخة مجمعة إلى <1 × 10&supminus; ملي بار · لتر/ ثانية، ورسم خرائط منحنى أداء التحميل الكامل في منصة اختبار المصنع قبل الشحن. يتم شحن كل مضخة مع شهادة اختبار فردية خاصة بها تسجل سرعة الضخ المقاسة الفعلية، والضغط النهائي، واستهلاك الطاقة، ومستوى الضوضاء، وتوقيع الاهتزاز - وثائق التتبع الكاملة التي تلبي متطلبات التأهيل للشركات الصيدلانية وأشباه الموصلات والكيماويات المتعددة الجنسيات الكبرى.

تم تصميم مضخة التفريغ اللولبية الجافة LG-90 خصيصًا للبيئات الصناعية الصعبة حيث يحدد الفراغ الخالي من الزيت، وتوافق غاز المعالجة، ودورات العمل غير المنقطعة المتطلبات التشغيلية. تشمل التطبيقات الأساسية معالجة رقائق أشباه الموصلات، وتصنيع ثنائي الفينيل متعدد الكلور، وإنتاج شاشات العرض المسطحة، وتجميع المكونات الإلكترونية حيث يمنع الاهتزاز المنخفض للغاية والتشغيل الخالي من الجسيمات فقدان الإنتاجية. تتفوق المضخة في العمليات التي تتطلب معالجة متزامنة للأبخرة القابلة للتكثيف والغازات غير القابلة للتكثيف، حيث تحافظ ميزة التطهير التلقائي على مستويات فراغ ثابتة دون تدخل المشغل.

بعيدًا عن التركيز الأساسي على أشباه الموصلات والإلكترونيات، فإن تكوين المنفذ متعدد الاستخدامات ومظروف التشغيل الواسع يجعل LG-90 مناسبًا بشكل متساوٍ للطلاء الفراغي وترسيب الأغشية الرقيقة، وأفران النمو البلورية الفردية، والصهر بالحث الفراغي، وتغليف المكونات الإلكترونية، وتصفيح الخلايا الكهروضوئية. يقبل التصميم المعياري فلنجات التفريغ القياسية ISO-KF وISO-K، مما يتيح التكامل المباشر مع البنية التحتية لأنابيب التفريغ الحالية بدون محولات مخصصة. بالنسبة لمتكاملي الأنظمة ومصنعي المعدات الأصلية، نقدم تكوينات متعددة مخصصة وواجهات بروتوكول الاتصال مثل Modbus RTU وProfibus DP لتكامل التحكم في نظام التفريغ المركزي.

يتم شحن كل مضخة تفريغ LG-90 في صندوق تصدير خشبي مصمم خصيصًا مع بطانة إسفنجية عالية الكثافة مقطوعة خصيصًا تعمل على تثبيت المضخة أثناء النقل مع السماح بالوصول للرافعة الشوكية من جميع الجوانب الأربعة. يشتمل الجزء الداخلي للصندوق على بطانة ملحومة مانعة للرطوبة وحزم مجففة من هلام السيليكا لمنع التكثيف أثناء الشحن البحري. يتم إغلاق جميع فتحات المنافذ بأغطية واقية، ويتم قفل مجموعة الدوار في مكانها باستخدام حامل شحن لمنع اهتزاز المحمل من اهتزاز النقل.

يمتد ضمان الجودة إلى ما هو أبعد من أرضية المصنع: فكل مضخة تحمل ضمانًا شاملاً لمدة 12 شهرًا يغطي المواد وعيوب التصنيع، مع ضمان زمن الاستجابة للاستفسارات الفنية خلال 72 ساعة. توفر شبكتنا العالمية من شركاء الخدمة المعتمدين التشغيل في الموقع، وبرامج الصيانة الوقائية، ومخزون قطع الغيار الأصلية مع إرسال خلال 48 ساعة، ودعم الأعطال في حالات الطوارئ. بالنسبة لمشغلي الأساطيل الكبيرة، نقدم اتفاقيات مستوى خدمة مخصصة بما في ذلك مخزون قطع الغيار في الموقع، وعمليات تدقيق الأداء ربع السنوية، وبرامج تدريب المشغلين، مما يضمن أن البنية التحتية للفراغ لديك توفر أقصى عائد على الاستثمار طوال عمرها التشغيلي.