Bomba de vácuo sem óleo de parafuso seco de vibração ultrabaixa LG-90 90 m³/h para fabricação de semicondutores

• Operação seca sem óleo:Zero lubrificação necessária na câmara de trabalho, eliminando a contaminação por névoa de óleo e descarga de águas residuais.Instalações de montagem de eletrónica, e instalações de fabrico fotovoltaico onde a pureza do processo não é negociável.
• Alto desempenho no vácuo:Atinge uma pressão máxima de ≤ 5 Pa com uma velocidade de bombeamento de 90 m3/h em regiões de alto vácuo, garantindo uma evacuação rápida e uma pressão de retenção estável para ciclos industriais exigentes.
• Gerenciamento térmico refrigerado a ar:O sistema de arrefecimento por ar eficiente, com um design de dissipação de calor otimizado, mantém uma temperatura de funcionamento estável a 4 kW de serviço contínuo,Eliminar a deriva térmica e prolongar a vida útil dos componentes em programas de produção 24 horas por dia, 7 dias por semana.
• Percurso de fluxo resistente à corrosão:Componentes fluidos disponíveis em liga de titânio, aço inoxidável SS316 ou revestimento nanocerâmico para lidar com gases condensáveis, vapores ácidos, vapor de água,e meios ligeiramente corrosivos sem degradação do desempenho durante intervalos de serviço prolongados.
• Sistema de depuração automática:Mecanismo de autolimpeza integrado que elimina automaticamente o condensado acumulado e as partículas finas durante o funcionamento,manutenção de liberdades internas ótimas e prevenção da perda de eficiência em ambientes de semicondutores e eletrônicos exigentes.
• Pacote Premium de Rolamentos e Selo:Equipado com rolamentos de precisão SKF/NSK e vedações mecânicas de engenharia alemã para uma estabilidade de rotação superior, intervalos de manutenção prolongados superiores a 15.000 horas,e contenção fiável dos gases de processo.
• Função de baixa vibração e baixo ruído:Os rotores de dois parafusos dinâmicamente equilibrados com perfis helicoidais de moagem de precisão atingem níveis de ruído de ≤ 73 dB, tornando a bomba adequada para instalações sensíveis ao ruído, incluindo laboratórios,Salas limpas, e parques industriais urbanos.
• Suíte completa de certificação internacional:Fabricado em conformidade com a norma ISO 9001 de gestão da qualidade, certificado em conformidade com as normas de segurança CE e acompanhado de relatórios de ensaio acreditados pela IAF/CNAS,fornecimento de documentação completa para desalfandegamento e conformidade regulamentar em todo o mundo.

A bomba de vácuo de parafuso livre de óleo seca da série LG-90 aproveita a avançada tecnologia de compressão de parafuso duplo para fornecer desempenho de vácuo sem compromisso sem qualquer lubrificante na câmara de processo.Um par de parafusos de aço ligado CNC de precisão equipados gira em contra-rotação sincronizada dentro de uma caixa de tolerância apertada, criando uma série progressiva de células de compressão fechadas que transportam continuamente gás da porta de sucção até ao escape.Este mecanismo de deslocamento positivo atinge uma eficiência volumétrica consistente em toda a faixa de pressão de funcionamento, do vácuo atmosférico ao vácuo final, ao contrário de bombas de lóbulo ou garra que sofrem de vazamento interno em taxas de compressão mais altas.

Projetado especificamente para fundições de semicondutores, instalações de montagem de eletrônicos e instalações de fabricação fotovoltaica,O LG-90 aborda as demandas operacionais críticas que as bombas convencionais de vedação a óleo não podem atender: liberdade absoluta de contaminação por retroalimentação, tolerância às cargas de vapor condensável e compatibilidade com produtos químicos de processo ligeiramente agressivos.O sistema de gestão térmica resfriado a ar regula ativamente a temperatura de funcionamento dentro de uma faixa estreita, evitando a expansão térmica que causa alterações na distância entre as pontas e desvio de eficiência em projetos menores.A bomba aceita uma gama de temperaturas de entrada de gás de processo direta de -20°C a +80°C, sem necessidade de pré-condicionamento, simplificando a integração dos sistemas e reduzindo os custos dos equipamentos auxiliares.

A geometria da cavidade da bomba apresenta um caminho de gás curto e direto sem válvulas internas, sem superfícies de contato e sem zonas mortas onde os resíduos possam acumular-se.Esta arquitetura é inerentemente resistente à impureza de partículas e ingestão de lesmas líquidas, proporcionando um nível de robustez do processo que se traduz diretamente em maior tempo de produção.Verificado por medição informática, assegurando que a vibração residual na velocidade de funcionamento permanece abaixo de 1.8 mm/s RMS um parâmetro crítico para aplicações de semicondutores e eletrônicos onde a transmissão de vibrações pode comprometer processos sensíveis a jusante ou instrumentação de precisão.

Aplicam-se procedimentos abrangentes de garantia da qualidade em toda a cadeia de fabrico: análise da composição química da matéria-prima,Verificação dimensional em processo utilizando equipamento CMM com uma precisão de ±5 μm, teste de vazamento por espectrómetro de massa de hélio de cada bomba montada com < 1 × 10&supminus;&sup6; mbar·L/s, e mapeamento da curva de desempenho em carga total no banco de ensaio da fábrica antes da expedição.Cada bomba é transportada com o seu certificado de ensaio individual que registra a velocidade de bombeamento real medida, pressão final, consumo de energia, nível de ruído e assinatura de vibração ️ documentação completa de rastreabilidade que satisfaça os requisitos de qualificação dos principais fabricantes de produtos farmacêuticos, semicondutores,e empresas químicas multinacionais.

A bomba de vácuo LG-90 é projetada para ambientes industriais exigentes, onde o vácuo sem óleo, a compatibilidade com os gases de processo,e ciclos de trabalho ininterruptos definem os requisitos operacionaisAs aplicações primárias incluem o processamento de wafers de semicondutores, fabricação de PCB, produção de ecrãs de painel plano,e montagem de componentes eletrónicos em que a vibração ultra-baixa e a operação sem partículas evitam a perda de rendimentoA bomba se destaca em processos que exigem a manipulação simultânea de vapores condensáveis e gases não condensáveis.Quando o recurso de depuração automática mantém níveis de vácuo consistentes sem intervenção do operador.

Além do foco primário em semicondutores e eletrônicos, a versátil configuração de porta e amplo envelope operacional tornam o LG-90 igualmente adequado para revestimento a vácuo e deposição de filme fino,Fornos de crescimento de cristal único, fusão por indução a vácuo, encapsulamento de componentes eletrónicos e laminação de células fotovoltaicas.Permitindo a integração direta com a infraestrutura de tubulação de vácuo existente sem adaptadores personalizadosPara integradores de sistemas e OEMs, oferecemos configurações personalizadas de múltiplos e interfaces de protocolo de comunicação, como Modbus RTU e Profibus DP para integração centralizada de controle de sistema de vácuo.

Each LG-90 vacuum pump is shipped in a purpose-built wooden export crate with custom-cut high-density foam cushioning that immobilizes the pump during transit while allowing forklift access from all four sidesO interior da caixa inclui revestimento de barreira de umidade soldado e embalagens de gel de sílica para evitar a condensação durante o transporte marítimo.e o conjunto do rotor é bloqueado na posição com um suporte de transporte para evitar brinelling do rolamento de vibração de transporte.

A garantia da qualidade vai além do chão de fábrica: cada bomba tem uma garantia completa de 12 meses que abrange defeitos de materiais e de fabrico,Com um tempo de resposta garantido de 72 horas para consultas técnicasA nossa rede global de parceiros de serviço autorizados fornece comissionamento no local, programas de manutenção preventiva, inventário de peças de reposição genuínas com expedição em 48 horas,e apoio à avaria de emergênciaPara operadores de grandes frotas, oferecemos acordos de nível de serviço personalizados, incluindo estoque de peças sobressalentes no local, auditorias trimestrais de desempenho e programas de treinamento de operadores,garantir que a sua infraestrutura de vácuo oferece o máximo retorno sobre o investimento durante toda a sua vida útil.