Pompa a vuoto senza olio a vite secca a vibrazione ultra bassa LG-90 90 m3/h per la produzione di semiconduttori
pompa per vuoto senza olio per semiconduttori
,pompa per vuoto a vibrazioni ultra-basse
,pompa per vuoto a vite a secco 90 m³/h
Proprietà di base
Proprietà Commerciali
- Operazione a secco senza olio:Non richiede alcuna lubrificazione nella camera di lavoro, eliminando la contaminazione da nebbia di olio e lo scarico di acque reflue.impianti di assemblaggio di elettronica, e impianti di produzione fotovoltaici in cui la purezza del processo non è negoziabile.
- Alte prestazioni a vuoto:Riesce a raggiungere una pressione massima inferiore a ≤ 5 Pa con una velocità di pompaggio di 90 m3/h attraverso regioni ad alto vuoto, garantendo una rapida evacuazione e una pressione di tenuta stabile per cicli industriali impegnativi.
- Gestione termica raffreddata ad ariaUn sistema di raffreddamento ad aria efficiente con una progettazione ottimizzata di dissipazione del calore mantiene una temperatura di funzionamento stabile a 4 kW di lavoro continuo,eliminare la deriva termica e prolungare la durata di vita dei componenti secondo i programmi di produzione 24 ore su 24, 7 giorni su 7, 7 giorni su 7, 7 giorni su 7, 7 giorni su 7.
- Percorso di flusso resistente alla corrosione:Componenti a flusso disponibile in lega di titanio, acciaio inossidabile SS316 o rivestimento nano-ceramico per gestire gas condensabili, vapori acidi, vapore acqueo,e mezzi leggermente corrosivi senza degrado delle prestazioni durante lunghi intervalli di servizio.
- Sistema di depurazione automatico:meccanismo di auto-pulizia integrato rimuove automaticamente il condensato accumulato e le particelle fini durante il funzionamento,mantenimento di approvazioni interne ottimali e prevenzione della perdita di efficienza in ambienti di semiconduttori ed elettronica esigenti.
- Pacco Premium di cuscinetti e sigilli:Equipaggiati con cuscinetti di precisione SKF/NSK e guarnizioni meccaniche di ingegneria tedesca per una stabilità di rotazione superiore, intervalli di manutenzione prolungati superiori a 15.000 ore,e contenimento affidabile dei gas di processo.
- Funzionamento a bassa vibrazione e basso rumore:I rotori a doppia vite dinamicamente bilanciati con profili elicoidali a terra di precisione raggiungono livelli di rumore ≤ 73 dB, rendendo la pompa adatta a strutture sensibili al rumore, compresi i laboratori,stanze pulite, e parchi industriali urbani.
- Completa suite di certificazione internazionale:fabbricato secondo la gestione della qualità ISO 9001, certificato secondo le norme di sicurezza CE e corredato da rapporti di prova accreditati IAF/CNAS,fornire una documentazione completa per lo sdoganamento e la conformità normativa in tutto il mondo.
La pompa a vuoto a vite secca senza olio della serie LG-90 sfrutta l'avanzata tecnologia di compressione a due viti per fornire prestazioni di vuoto senza compromessi senza alcun lubrificante nella camera di processo.Una coppia abbinata di viti in acciaio legato precisioni CNC-macchinato ruota in contro-rotazione sincronizzata all'interno di un alloggiamento strettamente tollerato, creando una serie progressiva di celle di compressione sigillate che trasportano continuamente il gas dalla porta di aspirazione fino agli scarichi.Questo meccanismo di spostamento positivo consente di ottenere un'efficienza volumetrica costante su tutta l'intera gamma di pressione di funzionamento dal vuoto atmosferico al vuoto ultimo, a differenza delle pompe a lobi o artigli che soffrono di perdite interne a rapporti di compressione più elevati.
Progettato appositamente per le fonderie di semiconduttori, gli impianti di assemblaggio di elettronica e le strutture di produzione fotovoltaica,la LG-90 soddisfa le esigenze operative critiche che le pompe a olio sigillato convenzionali non possono soddisfare: assoluta liberazione da contaminazione da retrogrado, tolleranza per carichi di vapore condensabili e compatibilità con processi chimici leggermente aggressivi.Il sistema di gestione termica raffreddato ad aria regola attivamente la temperatura di esercizio entro una banda stretta, impedendo l'espansione termica che provoca cambiamenti di apertura della punta e deriva di efficienza in progetti minori.la pompa accetta un intervallo di temperatura di ingresso diretto del gas di processo da -20°C a +80°C senza necessità di precondizionamento, semplificando l'integrazione del sistema e riducendo i costi delle attrezzature ausiliarie.
La geometria della cavità della pompa è caratterizzata da un percorso di gas corto e diretto, senza valvole interne, superfici di contatto e zone morte dove i residui possono accumularsi.Questa architettura è intrinsecamente resistente all'inquinamento da particolato e all'ingestione di lumache liquide, fornendo un livello di robustezza del processo che si traduce direttamente in un maggiore tempo di produzione.verificato mediante misurazione computerizzata, garantendo che le vibrazioni residue alla velocità di funzionamento rimangano inferiori a 1.8 mm/s RMS un parametro critico per le applicazioni di semiconduttori ed elettronica in cui la trasmissione delle vibrazioni può compromettere processi a valle sensibili o strumentazione di precisione.
Le procedure di garanzia della qualità si applicano in tutta la catena di produzione: analisi della composizione chimica delle materie prime,verifica delle dimensioni durante il processo con apparecchiature CMM con una precisione di ±5 μm, sperimentazione delle perdite con spettrometro di massa di elio di ogni pompa assemblata a < 1 × 10&supminus;&sup6; mbar·L/s, e mappatura della curva di prestazione a pieno carico presso il banco di prova di fabbrica prima della spedizione.Ogni pompa è dotata del proprio certificato di prova individuale che registra la velocità di pompaggio effettivamente misurata, pressione finale, consumo di energia, livello di rumore e segnale di vibrazione documentazione completa di tracciabilità che soddisfi i requisiti di qualificazione dei principali produttori farmaceutici, dei semiconduttori,e multinazionali chimiche.
Specifiche tecniche| Parametro | Specificità |
|---|---|
| Tipo di pompa | Pompa a vuoto a due viti senza olio secco |
| Serie di modelli | LG-90 |
| Velocità di pompaggio | 90 m3/h |
| La massima pressione | ≤ 5 Pa |
| Potenza del motore | 4 kW |
| Velocità di rotazione | 2900 giri al minuto |
| Connessione di ingresso | KF63 |
| Connessione di presa | 50 franchi |
| Metodo di raffreddamento | Con raffreddamento ad aria |
| Livello di rumore | ≤ 73 dB |
| Peso della pompa | 85 kg |
| Dimensioni complessive (LxWxH) | 1250 x 720 x 750 mm |
| Intervallo di temperatura di funzionamento | -20°C a +80°C |
| Tipo di cuscinetto | Cuscinetti a sfera a scanalatura profonda SKF/NSK |
| Tipo di sigillo | Sigilli meccanici tedeschi |
| Materiali del percorso di flusso | Acciaio legato / SS316 / Titanio / Nanoceramica (facoltativo) |
La pompa a vuoto a vite secca LG-90 è progettata appositamente per ambienti industriali difficili in cui il vuoto senza olio, la compatibilità con i gas di processo,e cicli di lavoro ininterrotti definiscono i requisiti operativiLe applicazioni principali includono la lavorazione di wafer semiconduttori, la produzione di PCB, la produzione di display a pannello piatto, la produzione di apparecchiature per la produzione di circuiti stampati, la produzione di apparecchiature per la produzione di circuiti stampati, la produzione di apparecchiature per la produzione di circuiti stampati, la produzione di apparecchiature per la produzione di apparecchiature per la produzione di apparecchiature per la produzione di apparecchiature per la produzione di apparecchiature per la produzione di apparecchiature per la produzione di apparecchiature per la produzione di apparecchiature per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi per la produzione di apparecchi pere assemblaggio di componenti elettronici in cui vibrazioni ultrabasse e funzionamento privo di particelle impediscono perdite di rendimentoLa pompa eccelle nei processi che richiedono la manipolazione simultanea di vapori condensabili e gas non condensabili.quando la funzione di depurazione automatica mantiene livelli di vuoto costanti senza intervento dell'operatore.
Oltre al focus primario sui semiconduttori e sull'elettronica, la versatile configurazione delle porte e l'ampia gamma di funzionamento rendono il LG-90 ugualmente adatto per il rivestimento a vuoto e la deposizione di film sottile,forni per la crescita a singolo cristallo, fusione per induzione a vuoto, incapsulamento di componenti elettronici e laminazione di celle fotovoltaiche.che consente l'integrazione diretta con le infrastrutture di tubazioni a vuoto esistenti senza adattatori personalizzatiPer gli integratori di sistemi e gli OEM, offriamo configurazioni personalizzate e interfacce di protocollo di comunicazione come Modbus RTU e Profibus DP per l'integrazione centralizzata del controllo del sistema a vuoto.
Imballaggio e garanzia della qualitàEach LG-90 vacuum pump is shipped in a purpose-built wooden export crate with custom-cut high-density foam cushioning that immobilizes the pump during transit while allowing forklift access from all four sidesL'interno della cassa comprende rivestimenti saldatissimi e gel di silice per evitare la condensazione durante il trasporto marittimo.e l'assemblaggio del rotore è bloccato in posizione con un supporto di trasporto per evitare che il cuscinetto bruli dalle vibrazioni di trasporto.
L'assicurazione della qualità va oltre la fabbrica: ogni pompa ha una garanzia completa di 12 mesi che copre i difetti dei materiali e della lavorazione,con un tempo di risposta garantito di 72 ore per le richieste tecnicheLa nostra rete globale di partner di assistenza autorizzati fornisce messa in servizio in loco, programmi di manutenzione preventiva, inventario di pezzi di ricambio originali con spedizione in 48 ore,e supporto per la rottura di emergenzaPer gli operatori di grandi flotte, offriamo accordi di livello di servizio personalizzati, inclusi stock di ricambi in loco, audit trimestrali delle prestazioni e programmi di formazione degli operatori,garantire che l'infrastruttura di vuoto fornisca il massimo ritorno sull'investimento durante tutta la sua vita operativa.