Ultra-Niski poziom wibracji, sucha szrubkowa pompa próżniowa wolna od oleju LG-90 90 m3/h do produkcji półprzewodników

• Praca na sucho bez oleju:Zerowe smarowanie komory roboczej, eliminujące zanieczyszczenie mgłą olejową i odprowadzanie ścieków. Zapewnia 100% czystej próżni, niezbędnej w odlewniach półprzewodników, zakładach montażu elektroniki i zakładach produkcyjnych fotowoltaiki, gdzie czystość procesu nie podlega negocjacjom.
• Wysoka wydajność próżni:Osiąga ciśnienie końcowe tak niskie, jak ≤5 Pa przy prędkości pompowania 90 m³/h w obszarach o wysokiej próżni, zapewniając szybką ewakuację i stabilne ciśnienie utrzymywania w wymagających cyklach przemysłowych.
• Zarządzanie temperaturą chłodzone powietrzem:Wydajny system chłodzony powietrzem ze zoptymalizowaną konstrukcją rozpraszania ciepła utrzymuje stabilną temperaturę roboczą przy ciągłej pracy z mocą 4 kW, eliminując dryf cieplny i wydłużając żywotność komponentów w ramach harmonogramów produkcji 24/7.
• Ścieżka przepływu odporna na korozję:Komponenty przepływowe dostępne ze stopu tytanu, stali nierdzewnej SS316 lub wyściółki nanoceramicznej do obsługi skraplających się gazów, kwaśnych oparów, pary wodnej i lekko korozyjnych mediów bez pogorszenia wydajności w dłuższych okresach międzyobsługowych.
• Automatyczny system oczyszczania:Zintegrowany mechanizm samoczyszczący automatycznie usuwa nagromadzony kondensat i drobne cząstki podczas pracy, utrzymując optymalne odstępy wewnętrzne i zapobiegając utracie wydajności w wymagających środowiskach półprzewodników i elektroniki.
• Pakiet premium łożysk i uszczelek:Wyposażone w łożyska precyzyjne SKF/NSK i niemieckie uszczelnienia mechaniczne zapewniające doskonałą stabilność obrotową, wydłużone okresy międzyobsługowe przekraczające 15 000 godzin i niezawodne zabezpieczenie gazów procesowych.
• Niski poziom wibracji i niski poziom hałasu:Dynamicznie wyważone wirniki dwuślimakowe z precyzyjnie szlifowanymi profilami śrubowymi osiągają poziom hałasu ≤73 dB, dzięki czemu pompa nadaje się do obiektów wrażliwych na hałas, w tym laboratoriów, pomieszczeń czystych i miejskich parków przemysłowych.
• Pełny pakiet certyfikacji międzynarodowej:Wyprodukowano zgodnie z zarządzaniem jakością ISO 9001, certyfikowano zgodnie z normami bezpieczeństwa CE i dołączono do nich raporty z testów akredytowane przez IAF/CNAS, zapewniające pełną dokumentację niezbędną do odprawy celnej i zgodności z przepisami na całym świecie.

Bezolejowa, śrubowa pompa próżniowa z serii LG-90 wykorzystuje zaawansowaną technologię sprężania dwuślimakowego, aby zapewnić bezkompromisową wydajność próżniową bez użycia smaru w komorze procesowej. Dopasowana para precyzyjnych śrub ze stali stopowej obrabianej CNC obraca się w zsynchronizowanym przeciwstawnym obrocie w obudowie o wąskiej tolerancji, tworząc progresywną serię uszczelnionych komórek sprężających, które w sposób ciągły transportują gaz z portu ssącego do wydechu. Ten mechanizm wyporowy zapewnia stałą wydajność objętościową w całym zakresie ciśnień roboczych, od próżni atmosferycznej do końcowej, w przeciwieństwie do pomp krzywkowych lub kłowych, w których występują wewnętrzne wycieki przy wyższych stopniach sprężania.

Zaprojektowany specjalnie dla odlewni półprzewodników, zakładów montażu elektroniki i zakładów produkcyjnych fotowoltaiki, LG-90 spełnia krytyczne wymagania operacyjne, których nie są w stanie spełnić konwencjonalne pompy z uszczelnieniem olejowym: absolutna wolność od zanieczyszczeń wstecznych, tolerancja dla ładunków skroplonych oparów i kompatybilność z lekko agresywnymi chemikaliami procesowymi. Chłodzony powietrzem system zarządzania temperaturą aktywnie reguluje temperaturę roboczą w wąskim zakresie, zapobiegając rozszerzalności cieplnej, która powoduje zmiany luzu końcówek i dryf wydajności w mniejszych konstrukcjach. W przypadku produkcji wielozmianowej pompa może pracować w zakresie temperatur bezpośredniego wlotu gazu procesowego od -20°C do +80°C bez konieczności wstępnego kondycjonowania, co upraszcza integrację systemu i zmniejsza koszty wyposażenia pomocniczego.

Geometria wnęki pompy charakteryzuje się krótką, prostą ścieżką gazu, bez wewnętrznych zaworów, bez powierzchni stykowych i bez martwych stref, w których mogą gromadzić się pozostałości. Architektura ta jest z natury odporna na zanieczyszczenia cząstkami stałymi i połykanie płynnych ślimaków, zapewniając poziom niezawodności procesu, który bezpośrednio przekłada się na dłuższy czas sprawności produkcji. Każdy zespół wirnika poddawany jest dynamicznemu wyważaniu w dwóch płaszczyznach zgodnie z normą ISO 1940, klasa G2.5 lub lepszą, weryfikowanym za pomocą pomiarów komputerowych, zapewniających, że drgania szczątkowe przy prędkości roboczej pozostają poniżej 1,8 mm/s RMS – parametr krytyczny w zastosowaniach w półprzewodnikach i elektronice, gdzie przenoszenie drgań może zagrozić wrażliwym procesom końcowym lub precyzyjnym oprzyrządowaniu.

Kompleksowe procedury zapewnienia jakości mają zastosowanie w całym łańcuchu produkcyjnym: analiza składu chemicznego surowców, weryfikacja wymiarów w trakcie procesu przy użyciu sprzętu CMM z dokładnością ± 5 µm, badanie szczelności za pomocą spektrometru mas helowego każdej zmontowanej pompy do <1×10&supminus;&supminus;&sup6; mbar·L/s i mapowanie krzywej wydajności przy pełnym obciążeniu na fabrycznym stanowisku testowym przed wysyłką. Do każdej pompy dołączony jest indywidualny certyfikat testu rejestrujący rzeczywistą zmierzoną prędkość pompowania, ciśnienie końcowe, pobór mocy, poziom hałasu i sygnaturę wibracji — pełną dokumentację identyfikowalności, która spełnia wymagania kwalifikacyjne głównych międzynarodowych koncernów farmaceutycznych, półprzewodników i chemicznych.

Sucha śrubowa pompa próżniowa LG-90 została zaprojektowana specjalnie z myślą o wymagających środowiskach przemysłowych, w których próżnia bezolejowa, kompatybilność z gazami procesowymi i nieprzerwane cykle pracy definiują wymagania operacyjne. Podstawowe zastosowania obejmują obróbkę płytek półprzewodnikowych, produkcję płytek PCB, produkcję wyświetlaczy płaskich i montaż komponentów elektronicznych, gdzie bardzo niski poziom wibracji i praca wolna od cząstek zapobiegają utracie wydajności. Pompa doskonale sprawdza się w procesach wymagających jednoczesnego tłoczenia skraplających się oparów i nieskraplających się gazów, gdzie funkcja automatycznego oczyszczania utrzymuje stały poziom próżni bez interwencji operatora.

Oprócz głównych zastosowań w półprzewodnikach i elektronice, wszechstronna konfiguracja portów i szeroka koperta robocza sprawiają, że LG-90 nadaje się równie dobrze do powlekania próżniowego i osadzania cienkowarstwowego, pieców do wzrostu monokrystalicznego, topienia indukcyjnego w próżni, hermetyzacji komponentów elektronicznych i laminowania ogniw fotowoltaicznych. Modułowa konstrukcja akceptuje standardowe kołnierze próżniowe ISO-KF i ISO-K, umożliwiając bezpośrednią integrację z istniejącą infrastrukturą rurociągów próżniowych bez niestandardowych adapterów. Integratorom systemów i producentom OEM oferujemy niestandardowe konfiguracje kolektorów i interfejsy protokołów komunikacyjnych, takie jak Modbus RTU i Profibus DP, do integracji sterowania scentralizowanym systemem próżniowym.

Każda pompa próżniowa LG-90 jest wysyłana w specjalnie zaprojektowanej drewnianej skrzyni eksportowej z specjalnie przyciętą wyściółką z pianki o dużej gęstości, która unieruchamia pompę podczas transportu, umożliwiając jednocześnie dostęp wózkiem widłowym ze wszystkich czterech stron. Wnętrze skrzyni zawiera zgrzewaną wyściółkę chroniącą przed wilgocią i pakiety środka osuszającego w postaci żelu krzemionkowego, aby zapobiec kondensacji podczas transportu morskiego. Wszystkie otwory portów są uszczelnione zaślepkami ochronnymi, a zespół wirnika jest zablokowany w odpowiednim położeniu za pomocą wspornika transportowego, aby zapobiec Brinellingowi łożysk w wyniku wibracji transportowych.

Zapewnienie jakości wykracza poza fabrykę: każda pompa objęta jest 12-miesięczną kompleksową gwarancją obejmującą wady materiałowe i wykonawcze, z gwarantowanym 72-godzinnym czasem reakcji na zapytania techniczne. Nasza globalna sieć autoryzowanych partnerów serwisowych zapewnia uruchomienie na miejscu, programy konserwacji zapobiegawczej, magazyn oryginalnych części zamiennych z wysyłką w ciągu 48 godzin oraz pomoc w przypadku awarii. Operatorom dużych flot oferujemy dostosowane umowy dotyczące poziomu usług, obejmujące magazynowanie części zamiennych na miejscu, kwartalne audyty wydajności i programy szkoleniowe dla operatorów, dzięki czemu Twoja infrastruktura próżniowa zapewnia maksymalny zwrot z inwestycji przez cały okres jej eksploatacji.