Máy bơm chân không không dầu xoáy khô có độ rung cực thấp LG-90 90 m3/h cho sản xuất bán dẫn

• Vận hành khô không dầu:Không cần bôi trơn trong buồng làm việc, loại bỏ ô nhiễm sương mù dầu và xả nước thải. Cung cấp chân không sạch 100% cần thiết cho các xưởng đúc bán dẫn, nhà máy lắp ráp điện tử và cơ sở sản xuất quang điện, nơi độ tinh khiết của quy trình là không thể thương lượng.
• Hiệu suất chân không cao:Đạt được áp suất tối đa thấp tới 5 Pa với tốc độ bơm 90 m³/h qua các vùng chân không cao, đảm bảo thoát hơi nhanh và áp suất giữ ổn định cho các chu trình công nghiệp đòi hỏi khắt khe.
• Quản lý nhiệt làm mát bằng không khí:Hệ thống làm mát bằng không khí hiệu quả với thiết kế tản nhiệt tối ưu duy trì nhiệt độ hoạt động ổn định ở công suất liên tục 4 kW, loại bỏ hiện tượng trôi nhiệt và kéo dài tuổi thọ linh kiện theo lịch trình sản xuất 24/7.
• Đường dẫn dòng chảy chống ăn mòn:Các bộ phận chảy qua có sẵn bằng hợp kim titan, thép không gỉ SS316 hoặc lớp lót gốm nano để xử lý khí ngưng tụ, hơi axit, hơi nước và môi trường ăn mòn nhẹ mà không làm giảm hiệu suất trong thời gian sử dụng kéo dài.
• Hệ thống thanh lọc tự động:Cơ chế tự làm sạch tích hợp tự động loại bỏ nước ngưng tụ và các hạt mịn tích tụ trong quá trình vận hành, duy trì độ hở bên trong tối ưu và ngăn ngừa mất hiệu suất trong môi trường bán dẫn & điện tử đòi hỏi khắt khe.
• Gói Vòng bi và Con dấu cao cấp:Được trang bị vòng bi chính xác SKF/NSK và vòng đệm cơ khí do Đức chế tạo để có độ ổn định quay vượt trội, thời gian bảo trì kéo dài hơn 15.000 giờ và khả năng ngăn chặn đáng tin cậy các loại khí xử lý.
• Độ rung thấp Độ ồn thấp Hoạt động:Rôto trục vít đôi được cân bằng động với cấu hình xoắn ốc được nối đất chính xác đạt mức ồn ≤73 dB, giúp máy bơm phù hợp với các cơ sở nhạy cảm với tiếng ồn bao gồm phòng thí nghiệm, phòng sạch và khu công nghiệp đô thị.
• Bộ chứng chỉ quốc tế đầy đủ:Được sản xuất theo quản lý chất lượng ISO 9001, được chứng nhận theo tiêu chuẩn an toàn CE và kèm theo các báo cáo thử nghiệm được IAF/CNAS công nhận, cung cấp tài liệu đầy đủ về thủ tục hải quan và tuân thủ quy định trên toàn thế giới.

Máy bơm chân không trục vít khô không dầu dòng LG-90 tận dụng công nghệ nén trục vít đôi tiên tiến để mang lại hiệu suất chân không vượt trội mà không cần bất kỳ chất bôi trơn nào trong buồng xử lý. Một cặp vít thép hợp kim được gia công CNC chính xác phù hợp quay theo chiều ngược chiều đồng bộ trong một vỏ có dung sai chặt chẽ, tạo ra một loạt các tế bào nén kín liên tục truyền khí từ cổng hút đến ống xả. Cơ chế dịch chuyển dương này đạt được hiệu suất thể tích nhất quán trong toàn bộ phạm vi áp suất vận hành từ khí quyển đến chân không cuối cùng, không giống như máy bơm thùy hoặc bơm móng vuốt bị rò rỉ bên trong ở tỷ lệ nén cao hơn.

Được thiết kế đặc biệt cho các xưởng đúc bán dẫn, nhà máy lắp ráp điện tử và cơ sở sản xuất quang điện, LG-90 giải quyết các nhu cầu vận hành quan trọng mà máy bơm kín dầu thông thường không thể đáp ứng: hoàn toàn không bị nhiễm bẩn ngược dòng, chịu được tải hơi ngưng tụ và khả năng tương thích với các quá trình hóa học có tính xâm thực nhẹ. Hệ thống quản lý nhiệt làm mát bằng không khí chủ động điều chỉnh nhiệt độ vận hành trong phạm vi hẹp, ngăn chặn sự giãn nở nhiệt gây ra thay đổi khe hở đầu và độ lệch hiệu suất trong các thiết kế nhỏ hơn. Đối với môi trường sản xuất nhiều ca, máy bơm chấp nhận phạm vi nhiệt độ đầu vào khí xử lý trực tiếp từ -20°C đến +80°C mà không cần điều hòa trước, đơn giản hóa việc tích hợp hệ thống và giảm chi phí thiết bị phụ trợ.

Hình dạng khoang bơm có đường dẫn khí ngắn, thẳng, không có van bên trong, không có bề mặt tiếp xúc và không có vùng chết nơi cặn có thể tích tụ. Kiến trúc này vốn có khả năng chống lại sự bám bẩn dạng hạt và sự xâm nhập của chất lỏng, mang lại mức độ ổn định cho quy trình, giúp tăng thời gian hoạt động sản xuất một cách trực tiếp. Mỗi cụm rô-to đều trải qua quá trình cân bằng động hai mặt phẳng theo tiêu chuẩn ISO 1940 Cấp G2.5 trở lên, được xác minh bằng phép đo trên máy tính, đảm bảo độ rung dư ở tốc độ vận hành duy trì dưới 1,8 mm/s RMS — một thông số quan trọng cho các ứng dụng Bán dẫn & Điện tử trong đó việc truyền rung có thể ảnh hưởng đến các quy trình nhạy cảm ở hạ lưu hoặc thiết bị đo đạc chính xác.

Các quy trình đảm bảo chất lượng toàn diện được áp dụng trong toàn bộ dây chuyền sản xuất: phân tích thành phần hóa học nguyên liệu thô, xác minh kích thước trong quá trình sử dụng thiết bị CMM với độ chính xác ±5 µm, kiểm tra rò rỉ khối phổ kế helium của mỗi máy bơm đã lắp ráp đến <1×10&supminus;&sup6; mbar·L/s và lập bản đồ đường cong hiệu suất đầy tải tại bệ kiểm tra tại nhà máy trước khi giao hàng. Mỗi máy bơm đều có chứng chỉ kiểm tra riêng ghi lại tốc độ bơm thực tế đo được, áp suất cuối cùng, mức tiêu thụ điện năng, độ ồn và dấu hiệu rung - tài liệu truy xuất nguồn gốc hoàn chỉnh đáp ứng các yêu cầu về trình độ chuyên môn của các tập đoàn đa quốc gia về dược phẩm, chất bán dẫn và hóa chất lớn.

Bơm chân không trục vít khô LG-90 được thiết kế dành riêng cho các môi trường công nghiệp đòi hỏi khắt khe, nơi chân không không dầu, khả năng tương thích khí xử lý và chu kỳ làm việc không bị gián đoạn xác định các yêu cầu vận hành. Các ứng dụng chính bao gồm xử lý tấm bán dẫn, sản xuất PCB, sản xuất màn hình phẳng và lắp ráp linh kiện điện tử trong đó độ rung cực thấp và hoạt động không có hạt giúp ngăn ngừa mất năng suất. Máy bơm vượt trội trong các quy trình yêu cầu xử lý đồng thời hơi ngưng tụ và khí không ngưng tụ, trong đó tính năng thanh lọc tự động duy trì mức chân không nhất quán mà không cần sự can thiệp của người vận hành.

Ngoài trọng tâm bán dẫn và điện tử chính, cấu hình cổng linh hoạt và phạm vi hoạt động rộng giúp LG-90 phù hợp như nhau cho lớp phủ chân không và lắng đọng màng mỏng, lò tăng trưởng đơn tinh thể, nấu chảy cảm ứng chân không, đóng gói linh kiện điện tử và cán tế bào quang điện. Thiết kế mô-đun chấp nhận mặt bích chân không ISO-KF và ISO-K tiêu chuẩn, cho phép tích hợp trực tiếp với cơ sở hạ tầng đường ống chân không hiện có mà không cần bộ điều hợp tùy chỉnh. Đối với các nhà tích hợp hệ thống và OEM, chúng tôi cung cấp các cấu hình đa dạng tùy chỉnh và giao diện giao thức truyền thông như Modbus RTU và Profibus DP để tích hợp điều khiển hệ thống chân không tập trung.

Mỗi máy bơm chân không LG-90 được vận chuyển trong một thùng xuất khẩu bằng gỗ chuyên dụng với đệm xốp mật độ cao được cắt tùy chỉnh giúp cố định máy bơm trong quá trình vận chuyển đồng thời cho phép xe nâng tiếp cận từ cả bốn phía. Bên trong thùng bao gồm lớp lót chống ẩm được hàn và gói hút ẩm silica gel để ngăn chặn sự ngưng tụ trong quá trình vận chuyển đường biển. Tất cả các lỗ mở của cổng đều được bịt kín bằng nắp bảo vệ và cụm rôto được khóa ở vị trí bằng giá đỡ vận chuyển để ngăn chặn vòng bi bị rung do vận chuyển.

Việc đảm bảo chất lượng vượt ra ngoài phạm vi nhà máy: mỗi máy bơm đều được bảo hành toàn diện 12 tháng bao gồm các lỗi về vật liệu và tay nghề, với thời gian đáp ứng được đảm bảo là 72 giờ đối với các yêu cầu kỹ thuật. Mạng lưới đối tác dịch vụ được ủy quyền toàn cầu của chúng tôi cung cấp các chương trình vận hành thử, bảo trì phòng ngừa tại chỗ, tồn kho phụ tùng chính hãng với thời gian vận chuyển 48 giờ và hỗ trợ sự cố khẩn cấp. Đối với các nhà khai thác đội tàu lớn, chúng tôi cung cấp các thỏa thuận cấp độ dịch vụ tùy chỉnh bao gồm kho phụ tùng thay thế tại chỗ, kiểm tra hiệu suất hàng quý và các chương trình đào tạo người vận hành, đảm bảo cơ sở hạ tầng chân không của bạn mang lại lợi tức đầu tư tối đa trong suốt thời gian hoạt động.