Ultralage trillingen droog schroef olievrije vacuümpomp LG-90 90 m3/h voor de vervaardiging van halfgeleiders

• Olievrije droge werking:Geen smering nodig in de werkkamer, waardoor olienevelvervuiling en afvalwaterlozing worden geëlimineerd. Levert 100% schoon vacuüm dat essentieel is voor halfgeleidergieterijen, elektronica-assemblagefabrieken en fotovoltaïsche productiefaciliteiten waar proceszuiverheid niet onderhandelbaar is.
• Hoge vacuümprestaties:Bereikt een ultieme druk zo laag als ≤5 Pa met een pompsnelheid van 90 m³/u in hoogvacuümgebieden, waardoor een snelle evacuatie en een stabiele houddruk voor veeleisende industriële cycli wordt gegarandeerd.
• Luchtgekoeld thermisch beheer:Efficiënt luchtgekoeld systeem met geoptimaliseerd ontwerp voor warmteafvoer zorgt voor een stabiele bedrijfstemperatuur bij continu gebruik van 4 kW, waardoor thermische drift wordt geëlimineerd en de levensduur van componenten wordt verlengd onder 24/7 productieschema's.
• Corrosiebestendig stroompad:Doorstroomcomponenten verkrijgbaar in titaniumlegering, SS316 roestvrij staal of nano-keramische voering om condenseerbare gassen, zure dampen, waterdamp en licht corrosieve media te verwerken zonder prestatieverlies tijdens langere onderhoudsintervallen.
• Automatisch zuiveringssysteem:Geïntegreerd zelfreinigend mechanisme verwijdert automatisch verzameld condensaat en fijne deeltjes tijdens bedrijf, waardoor optimale interne spelingen behouden blijven en efficiëntieverlies in veeleisende halfgeleider- en elektronica-omgevingen wordt voorkomen.
• Premium lager- en afdichtingspakket:Uitgerust met SKF/NSK-precisielagers en in Duitsland ontworpen mechanische afdichtingen voor superieure rotatiestabiliteit, verlengde onderhoudsintervallen van meer dan 15.000 uur en betrouwbare insluiting van procesgassen.
• Lage trillingen, geluidsarme werking:Dynamisch gebalanceerde rotoren met dubbele schroef en nauwkeurig geslepen spiraalvormige profielen bereiken geluidsniveaus van ≤73 dB, waardoor de pomp geschikt is voor geluidsgevoelige faciliteiten, waaronder laboratoria, cleanrooms en stedelijke industrieparken.
• Volledige internationale certificeringssuite:Gefabriceerd onder ISO 9001 kwaliteitsmanagement, gecertificeerd volgens CE-veiligheidsnormen en vergezeld van IAF/CNAS-geaccrediteerde testrapporten, die volledige documentatie bieden voor douaneafhandeling en naleving van de regelgeving wereldwijd.

De droge olievrije schroefvacuümpomp uit de LG-90-serie maakt gebruik van geavanceerde compressietechnologie met dubbele schroef om compromisloze vacuümprestaties te leveren zonder enig smeermiddel in de proceskamer. Een op elkaar afgestemd paar precisie CNC-gefreesde schroeven van gelegeerd staal roteren in gesynchroniseerde tegenrotatie binnen een behuizing met nauwe toleranties, waardoor een progressieve reeks afgedichte compressiecellen ontstaat die continu gas van de aanzuigpoort naar de uitlaat transporteren. Dit positieve verplaatsingsmechanisme zorgt voor een consistente volumetrische efficiëntie over het gehele werkdrukbereik, van atmosferisch tot ultiem vacuüm, in tegenstelling tot lobben- of klauwpompen die bij hogere compressieverhoudingen last hebben van interne lekkage.

De LG-90 is speciaal ontworpen voor halfgeleidergieterijen, elektronica-assemblagefabrieken en fotovoltaïsche productiefaciliteiten en voldoet aan de kritische operationele eisen waaraan conventionele oliedichte pompen niet kunnen voldoen: absolute vrijheid van terugstroomverontreiniging, tolerantie voor condenseerbare dampbelastingen en compatibiliteit met mild agressieve proceschemie. Het luchtgekoelde thermische managementsysteem regelt actief de bedrijfstemperatuur tot binnen een smalle band, waardoor de thermische uitzetting wordt voorkomen die veranderingen in de tipspeling en efficiëntieafwijking veroorzaakt bij kleinere ontwerpen. Voor productieomgevingen met meerdere ploegen accepteert de pomp een direct procesgasinlaattemperatuurbereik van -20°C tot +80°C zonder dat voorconditionering nodig is, wat de systeemintegratie vereenvoudigt en de kosten van hulpapparatuur verlaagt.

De geometrie van de pompholte heeft een kort, rechtdoor gaspad zonder interne kleppen, zonder contactoppervlakken en zonder dode zones waar residu zich kan ophopen. Deze architectuur is inherent bestand tegen vervuiling door deeltjes en de opname van vloeistofslakken, waardoor een niveau van procesrobuustheid ontstaat dat zich direct vertaalt in een hogere productie-uptime. Elke rotorassemblage ondergaat een dynamische tweevlaksbalancering volgens ISO 1940 klasse G2.5 of beter, geverifieerd door geautomatiseerde metingen, waardoor de resterende trillingen bij bedrijfssnelheid onder de 1,8 mm/s RMS blijven - een kritische parameter voor halfgeleider- en elektronicatoepassingen waarbij trillingsoverdracht gevoelige stroomafwaartse processen of precisie-instrumentatie in gevaar kan brengen.

Uitgebreide kwaliteitsborgingsprocedures zijn van toepassing in de hele productieketen: analyse van de chemische samenstelling van grondstoffen, dimensionale verificatie tijdens het proces met behulp van CMM-apparatuur met een nauwkeurigheid van ± 5 µm, lektesten met heliummassaspectrometers van elke geassembleerde pomp tot <1×10&supminus;&sup6; mbar·L/s, en prestatiecurve bij volledige belasting in kaart gebracht op de fabriekstestopstelling vóór verzending. Elke pomp wordt geleverd met een individueel testcertificaat waarop de werkelijk gemeten pompsnelheid, uiteindelijke druk, energieverbruik, geluidsniveau en trillingssignatuur zijn vastgelegd: volledige traceerbaarheidsdocumentatie die voldoet aan de kwalificatievereisten van grote farmaceutische, halfgeleider- en chemische multinationals.

De LG-90 droge schroefvacuümpomp is speciaal ontworpen voor veeleisende industriële omgevingen waar olievrij vacuüm, procesgascompatibiliteit en ononderbroken bedrijfscycli de operationele vereisten definiëren. Primaire toepassingen zijn onder meer de verwerking van halfgeleiderwafels, PCB-productie, de productie van platte beeldschermen en de assemblage van elektronische componenten waarbij ultralage trillingen en deeltjesvrije werking opbrengstverlies voorkomen. De pomp blinkt uit in processen die gelijktijdige verwerking van condenseerbare dampen en niet-condenseerbare gassen vereisen, waarbij de automatische spoelfunctie consistente vacuümniveaus handhaaft zonder tussenkomst van de operator.

Naast de primaire focus op halfgeleiders en elektronica, maken de veelzijdige poortconfiguratie en het brede werkingsbereik de LG-90 even geschikt voor vacuümcoating en dunnefilmafzetting, ovens voor monokristalgroei, vacuüminductiesmelten, inkapseling van elektronische componenten en laminering van fotovoltaïsche cellen. Het modulaire ontwerp accepteert standaard ISO-KF- en ISO-K-vacuümflenzen, waardoor directe integratie met bestaande vacuümleidinginfrastructuur mogelijk is zonder aangepaste adapters. Voor systeemintegratoren en OEM's bieden we op maat gemaakte verdeelblokconfiguraties en communicatieprotocolinterfaces zoals Modbus RTU en Profibus DP voor gecentraliseerde integratie van de vacuümsysteembesturing.

Elke LG-90-vacuümpomp wordt verzonden in een speciaal gebouwde houten exportkrat met op maat gesneden schuimdemping met hoge dichtheid die de pomp tijdens het transport immobiliseert terwijl de vorkheftruck vanaf alle vier de zijden toegang heeft. De binnenkant van de krat is voorzien van een gelaste vochtwerende voering en silicagel-droogmiddelpakketten om condensatie tijdens zeevracht te voorkomen. Alle poortopeningen zijn afgedicht met beschermkappen en de rotorconstructie is op zijn plaats vergrendeld met een transportbeugel om te voorkomen dat de lagers door transporttrillingen gaan pekelen.

Kwaliteitsborging reikt verder dan de fabrieksvloer: elke pomp heeft een uitgebreide garantie van 12 maanden voor materiaal- en fabricagefouten, met een gegarandeerde responstijd van 72 uur voor technische vragen. Ons wereldwijde netwerk van geautoriseerde servicepartners biedt inbedrijfstelling op locatie, preventieve onderhoudsprogramma's, inventaris van originele reserveonderdelen met 48-uurs verzending en ondersteuning bij noodgevallen. Voor exploitanten van grote wagenparken bieden wij op maat gemaakte serviceniveauovereenkomsten, waaronder on-site voorraad reserveonderdelen, driemaandelijkse prestatie-audits en trainingsprogramma's voor operators, zodat uw vacuüminfrastructuur gedurende de gehele levensduur een maximaal investeringsrendement oplevert.