Ультранизковибрационный вакуумный насос LG-90 без масла с сухим винтом 90 м3/ч для производства полупроводников

• Сухая операция без масла:Не требуется никакой смазки в рабочей камере, исключает загрязнение масляным туманом и выброс сточных вод.электротехнические сборочные установки, и фотоэлектрических производственных предприятий, где чистота процесса не подлежит обсуждению.
• Высокая вакуумная производительность:Осуществляет максимальное давление до ≤5 Pa при скорости откачки 90 м3/ч в высоковакуумных областях, обеспечивая быструю эвакуацию и стабильное давление для требовательных промышленных циклов.
• Термоуправление с воздушным охлаждением:Эффективная система воздушного охлаждения с оптимизированной конструкцией рассеивания тепла поддерживает стабильную рабочую температуру при непрерывном рабочем режиме 4 кВт,устранение теплового дрейфа и увеличение срока службы компонента в соответствии с графиками производства 24/7..
• Противокоррозионный путь потока:Компоненты с пропускной способностью, доступные в титановом сплаве, нержавеющей стали SS316 или нанокерамической подкладке для обработки конденсируемых газов, кислотных паров, водяного пара,и слабо коррозионные среды без ухудшения производительности в течение длительных интервалов эксплуатации.
• Автоматическая система очистки:Интегрированный механизм самоочистки автоматически удаляет накопившийся конденсат и мелкие частицы во время работы,поддержание оптимального внутреннего разрешения и предотвращение потери эффективности в требовательных средах полупроводников и электроники.
• Премиальный пакет подшипников и уплотнений:Оборудованы точными подшипниками SKF/NSK и механическими уплотнениями немецкой разработки для повышенной стабильности вращения, длительные интервалы обслуживания, превышающие 15 000 часов,и надежное удержание процессуальных газов.
• Работа с низкой вибрацией и низким уровнем шумаДинамически сбалансированные двойные винтовые роторы с высокоточными спиральными профилями достигают уровня шума ≤ 73 дБ, что делает насос подходящим для оборудования, чувствительного к шуму, включая лаборатории,чистые комнаты, и городских промышленных парков.
• Полный комплекс международных сертификаций:Произведены в соответствии с стандартом ISO 9001 по управлению качеством, сертифицированы по стандартам безопасности CE и сопровождаются аккредитованными IAF/CNAS отчетами о испытаниях.предоставление полной документации для таможенного оформления и соблюдения нормативных требований во всем мире.

Сухой вакуумный насос без масла серии LG-90 использует передовую технологию сжатия с двумя винтами, чтобы обеспечить бескомпромиссную вакуумную производительность без каких-либо смазочных материалов в процессной камере.Соответствующая пара высокоточных CNC-обработанных сплавных стальных винтов вращается в синхронизированном противоположном вращении в тесно выдержанном корпусе, создавая прогрессивную серию герметичных компрессионных ячеек, которые непрерывно транспортируют газ из всасывающего порта через выхлопный.Этот механизм положительного смещения обеспечивает постоянную объемную эффективность на всем диапазоне рабочего давления от атмосферного до максимального вакуума, в отличие от лобовых или клеточных насосов, которые страдают от внутренней утечки при более высоких соотношениях сжатия.

Разработан специально для литейных заводов полупроводников, электроника сборки заводов, и фотоэлектрических производственных объектов,LG-90 отвечает критическим эксплуатационным требованиям, которые не могут быть удовлетворены обычными маслозапечатанными насосами: абсолютная свобода от загрязнения обратным потоком, толерантность к конденсируемым парам и совместимость с мягко агрессивными химическими процессами.Система теплового управления с воздушным охлаждением активно регулирует рабочую температуру в узком диапазоне, предотвращая тепловое расширение, которое вызывает изменения просвета кончиков и снижение эффективности в меньших конструкциях.насос принимает диапазон температур прямого ввода процесса газа от -20°C до +80°C без необходимости предварительной кондиционирования, упрощение интеграции системы и снижение затрат на вспомогательное оборудование.

Геометрия полости насоса характеризуется коротким, прямым газовым путем без внутренних клапанов, без контактных поверхностей и без мертвых зон, где могут накапливаться остатки.Эта архитектура по своей сути устойчива к загрязнению частицами и поглощению жидких слизней, обеспечивающий уровень надежности процесса, который напрямую переводится в более высокое время работы производства. Каждая сборка роторов подвергается динамическому балансированию двух плоскостей по стандарту ISO 1940 Grade G2.5 или лучше,проверяется с помощью компьютеризированных измерений, гарантируя, что остаточные вибрации при рабочей скорости остаются ниже 1.8 mm/s RMS .

Всесторонние процедуры обеспечения качества применяются на протяжении всей производственной цепочки: анализ химического состава сырья,проверка измерений в процессе с использованием оборудования CMM с точностью ±5 мкм;, гелий массового спектрометра проверки утечки каждого собранного насоса до < 1 × 10 &supminus; &sup6; mbar·L/s, и полной нагрузки кривой производительности на заводской испытательной стойке перед отгрузкой.Каждое насосное судно имеет свой индивидуальный сертификат испытания, в котором фиксируется фактическая измеренная скорость насоса., конечное давление, расход энергии, уровень шума и вибрационная сигнатура ,и химических транснациональных компаний.

Стройный винтовой вакуумный насос LG-90 специально разработан для требовательных промышленных условий, где вакуум без масла, совместимость процесса газа,и непрерывные рабочие циклы определяют эксплуатационные требованияОсновные приложения включают полупроводниковую обработку пластин, производство ПКБ, производство плоских дисплеев,и сборка электронных компонентов, где ультранизкая вибрация и работа без частиц предотвращают потерю производительностиНасос превосходит процессы, требующие одновременного обращения с конденсируемыми парами и неконденсируемыми газами.когда функция автоматической очистки поддерживает постоянный уровень вакуума без вмешательства оператора.

Помимо основного направления полупроводников и электроники, универсальная конфигурация порта и широкий рабочий диапазон делают LG-90 одинаково подходящим для вакуумного покрытия и отложения тонкой пленки,печи для выращивания однокристаллических материалов, вакуумное индукционное плавление, инкапсуляция электронных компонентов и ламинирование фотоэлектрических элементов.позволяет напрямую интегрироваться с существующей инфраструктурой вакуумных труб без индивидуальных адаптеровДля системных интеграторов и OEM-производителей мы предлагаем пользовательские конфигурации и интерфейсы протоколов связи, такие как Modbus RTU и Profibus DP для централизованной интеграции системы управления вакуумом.

Each LG-90 vacuum pump is shipped in a purpose-built wooden export crate with custom-cut high-density foam cushioning that immobilizes the pump during transit while allowing forklift access from all four sidesВнутренняя часть ящика включает сварную влагозащитную подкладку и силиконовый гель для предотвращения конденсации во время морской перевозки.и конвейер ротора закреплен в положении с помощью транспортной стойки, чтобы предотвратить подшипник brinelling от транспортных вибраций.

Обеспечение качества выходит за пределы завода: на каждый насос распространяется 12-месячная полная гарантия, охватывающая материалы и дефекты изготовления.с гарантированным 72-часовым временем ответа на технические запросыНаша глобальная сеть авторизованных сервисных партнеров обеспечивает на месте ввод в эксплуатацию, программы профилактического обслуживания, подлинный запас запасных частей с доставкой в течение 48 часов,и поддержка аварийных отказовДля операторов больших автопарков мы предлагаем индивидуальные соглашения по уровню обслуживания, включая запас запасных частей на месте, ежеквартальные аудиты производительности и программы обучения операторов,обеспечение максимальной отдачи от инвестиций вакуумной инфраструктуры на протяжении всего срока ее эксплуатации.