ปั๊มสุญญากาศแบบสกรูแห้งไร้น้ำมันแบบสั่นสะเทือนต่ำพิเศษ LG-90 90 m³/h สำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ปั๊มสุญญากาศไร้น้ำมันสำหรับเซมิคอนดักเตอร์
,ปั๊มสุญญากาศการสั่นสะเทือนต่ำเป็นพิเศษ
,ปั๊มสุญญากาศแบบสกรูแห้ง 90 ลบ.ม./ชม.
คุณสมบัติพื้นฐาน
การซื้อขายอสังหาริมทรัพย์
- การทํางานแห้งที่ไม่ใช้น้ํามัน:ไม่จําเป็นต้องใช้น้ํามันในการเคลือบในห้องทํางาน ทําให้ลดการปนเปื้อนน้ํามันและการปล่อยน้ําเสียโรงงานประกอบอิเล็กทรอนิกส์และโรงงานผลิตไฟฟ้าไฟฟ้าไฟฟ้า ที่ความบริสุทธิ์ของกระบวนการนั้น ไม่สามารถแลกเปลี่ยนได้
- ความสามารถในการทํางานในระยะว่างสูง:ประสบความดันสุดต่ํา ≤ 5 Pa กับความเร็วการสูบ 90 m3/h ผ่านภูมิภาคว่างสูง, รับประกันการถอนเร็วและความดันการยึดคงที่สําหรับวงจรอุตสาหกรรมที่ต้องการ
- การจัดการความร้อนด้วยการเย็นด้วยอากาศระบบเย็นด้วยอากาศที่มีประสิทธิภาพกับการออกแบบการระบายความร้อนที่ปรับปรุงให้ดีที่สุด เพื่อรักษาอุณหภูมิการทํางานที่คงที่ที่ 4 kWการกําจัดการเคลื่อนไหวทางความร้อนและขยายอายุการใช้งานของส่วนประกอบ ภายใต้ตารางการผลิต 24/7.
- เส้นทางการไหลของความทนทานต่อการกัดกร่อน:องค์ประกอบที่ผ่านการไหลผ่านมีในเหล็กเหล็กไทเทเนียม สแตนเลส SS316 หรือชั้นเยื่อนาโนเซรามิค เพื่อจัดการกับก๊าซที่สามารถบดลงได้ คันกรด คันน้ําและสื่อที่เกรี้ยวเบา ๆ โดยไม่มีการลดลดประสิทธิภาพในการใช้งานระยะเวลานาน.
- ระบบล้างอัตโนมัติกลไกทําความสะอาดตัวเองที่บูรณาการกําจัดสารดิบและอนุภาคละเอียดที่สะสมขึ้นโดยอัตโนมัติระหว่างการทํางานการรักษาความสะดวกภายในที่ดีที่สุด และป้องกันการสูญเสียประสิทธิภาพในแวดล้อมครึ่งตัวนําและอิเล็กทรอนิกส์ที่ต้องการ.
- แพ็คเกจพัสดุชั้นนําอุปกรณ์พร้อมกับหมอนระดับความแม่นยํา SKF/NSK และปุ่มปิดกลของเยอรมัน เพื่อความมั่นคงในการหมุนที่ดีกว่า ระยะเวลาการบํารุงรักษาที่ยาวนานกว่า 15,000 ชั่วโมงและการกักกั้นก๊าซกระบวนการอย่างน่าเชื่อถือ.
- การทํางานด้วยความสั่นสะเทือนต่ํา และความรบกวนต่ําโรเตอร์สองสกรูที่มีความสมดุลแบบไดนามิกที่มีโปรไฟลแบบสกรูที่เหินด้วยความแม่นยําสามารถบรรลุระดับเสียงได้ ≤ 73 dB ทําให้ปั๊มเหมาะสําหรับสถานที่ที่มีความรู้สึกต่อเสียง รวมถึงห้องปฏิบัติการห้องสะอาดและปาร์คอุตสาหกรรมในเมือง
- ซุตการรับรองนานาชาติเต็ม:ผลิตตามมาตรฐานการจัดการคุณภาพ ISO 9001 ได้รับการรับรองตามมาตรฐานความปลอดภัย CE และพร้อมด้วยรายงานการทดสอบที่ได้รับการรับรองจาก IAF/CNASการให้เอกสารครบถ้วนสําหรับการชําระภาษีและการปฏิบัติตามกฎหมายทั่วโลก.
เครื่องปั๊มสูบล้างความร้อนจากน้ํามันแห้งลําดับ LG-90 ใช้เทคโนโลยีการบดความร้อนแบบสองสกรูที่มีความทันสมัย เพื่อให้มีผลงานสูบล้างความร้อนที่ไม่ยุ่งยาก โดยไม่ต้องใช้น้ํามันในห้องกระบวนการคู่ที่ตรงกันของความแม่นยํา CNC-เครื่องจักรสกรูเหล็กสแตนเลสหมุนใน synchronized counter-rotation ภายในห้องพักการอนุญาตอย่างแน่น, สร้างชุดเรื่อย ๆ ของเซลล์การบดปิดที่นําก๊าซจากประตูดูดผ่านการออกอย่างต่อเนื่องอุปกรณ์การย้ายที่บวกนี้บรรลุประสิทธิภาพขนาดที่คงที่ในช่วงความดันการทํางานทั้งหมดจากบรรยากาศไปยังความว่าง, ไม่เหมือนกับปั๊มล็อบหรือข้อมือที่มีการรั่วไหลภายในที่อัตราการบดสูงกว่า
ออกแบบมาโดยเฉพาะสําหรับโรงงานเหมาเหมาครึ่งตัวนํา โรงงานประกอบอิเล็กทรอนิกส์ และโรงงานผลิตไฟฟ้าไฟฟ้าLG-90 ตอบโจทย์ความต้องการการดําเนินงานที่สําคัญที่ปั๊มประปาน้ํามันประปาทั่วไปไม่สามารถตอบสนองได้: เสรีภาพจากการปนเปื้อนกลับ, ความอดทนต่อภาระควายที่สามารถปนเปื้อนได้, และความเหมาะสมกับสารเคมีกระบวนการที่รุนแรงเบา ๆระบบการจัดการความร้อนที่เย็นด้วยอากาศควบคุมอุณหภูมิการทํางานอย่างมีกิจกรรม ภายในช่วงแคบ, ป้องกันการขยายความร้อนที่ทําให้การเปลี่ยนแปลงความสะอาดปลายและการลดประสิทธิภาพในการออกแบบที่ต่ํากว่าปั๊มรับระยะอุณหภูมิการเข้าแก๊สกระบวนการโดยตรงจาก -20 °C ถึง +80 °C โดยไม่ต้องการการปรับปรุงก่อน, การปรับปรุงการบูรณาการระบบและลดต้นทุนอุปกรณ์เสริม
กณิตศาสตร์ช่องปั๊มมีเส้นทางก๊าซที่สั้นตรง โดยไม่มีวาล์วภายใน ไม่มีพื้นผิวที่สัมผัส และไม่มีบริเวณที่ตายซึ่งซากสามารถสะสมได้สถาปัตยกรรมนี้มีความทนทานต่อการปนเปื้อนของอนุภาคและการกินน้ําเหลว, ให้ความแข็งแรงของกระบวนการที่แปลโดยตรงไปยังการทํางานการผลิตที่สูงขึ้น ทุกการประกอบ rotor ผ่านการปรับสมดุลแบบไดนามิกสองระนาบที่ ISO 1940 เกรด G2.5 หรือดีกว่ายืนยันด้วยการวัดแบบคอมพิวเตอร์, รับประกันว่าความสั่นสะเทือนที่เหลือในความเร็วในการทํางานยังคงต่ํากว่า 18 mm/s RMS ปริมาตรสําคัญสําหรับการใช้งาน Semiconductor & Electronics ที่การถ่ายทอดสั่นสามารถเสี่ยงกระบวนการด้านล่างที่ nhạy cảmหรือเครื่องมือความแม่นยํา.
ขั้นตอนการรับประกันคุณภาพที่ครบถ้วน ใช้ในทั้งโซ่การผลิต: การวิเคราะห์องค์ประกอบทางเคมีของวัสดุแพร่การตรวจสอบมิติระหว่างกระบวนการ โดยใช้อุปกรณ์ CMM ด้วยความแม่นยํา ± 5 μmการทดสอบการรั่วของแหล่งสเปคตรเมตรมวลฮีเลียมของตัวปั๊มที่ประกอบไว้ทุกตัว ให้ < 1 × 10&supminus;&sup6; mbar·L/s และการแผนเส้นการทํางานของภาระเต็มที่สถานที่ทดสอบโรงงานก่อนการส่งแต่ละเครื่องปั๊มมีใบรับรองการทดสอบส่วนตัวที่บันทึกความเร็วปั๊มที่วัดจริง, ความดันปลาย, การบริโภคพลังงาน, ระดับเสียง, และการสั่นสะเทือน,และบริษัทเคมีนานาชาติ
รายละเอียดเทคนิค| ปริมาตร | รายละเอียด |
|---|---|
| ประเภทปั๊ม | เครื่องปั๊มระบายน้ํามันแบบแห้งไร้น้ํามัน |
| รุ่นชุด | LG-90 |
| ความเร็วการสูบ | 90 m3/h |
| ความ กดดัน ที่ สุด | ≤ 5 Pa |
| พลังงานของเครื่องยนต์ | 4 กิโลกรัม |
| ความเร็วหมุน | 2900 รอบ / นาที |
| การเชื่อมต่อทางเข้า | KF63 |
| การเชื่อมต่อช่องออก | ก.ฟ. 50 |
| วิธีการเย็น | เครื่องเย็นด้วยอากาศ |
| ระดับเสียง | ≤ 73 dB |
| น้ําหนักปั๊ม | 85 กิโลกรัม |
| ขนาดรวม (LxWxH) | 1250 x 720 x 750 มิลลิเมตร |
| ระยะอุณหภูมิการทํางาน | -20°C ถึง +80°C |
| ประเภทห่วง | SKF/NSK หัวหินลูกกลองกล่องลึก |
| ประเภทของตรา | ผนึกใบหน้ากลไกของเยอรมัน |
| วัสดุเส้นทางการไหล | สแตนเลส / SS316 / ไทเทเนียม / นาโนเซรามิก (ไม่จํากัด) |
หมุนสูบสูบสูบ LG-90 ถูกออกแบบมาเป็นพิเศษ สําหรับสภาพแวดล้อมอุตสาหกรรมที่ต้องการและวัฏจักรการทํางานที่ไม่หยุดยั้ง กําหนดความต้องการในการปฏิบัติงานการใช้งานหลักประกอบด้วย การประมวลผลแผ่นแผ่นครึ่งตัว, การผลิต PCB, การผลิตจอแผ่น,และการประกอบส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ที่ความสั่นสะเทือนที่ต่ํามากและการทํางานที่ไม่มีอนุภาคป้องกันการสูญเสียผลผลิตปั๊มนี้โดดเด่นในกระบวนการที่ต้องการการจัดการพร้อมกันของควาบที่สามารถบดและก๊าซที่ไม่สามารถบดได้เมื่อลักษณะการชําระอัตโนมัติรักษาระดับความว่างที่คงที่โดยไม่ต้องมีมือปฏิบัติการลงมือ.
นอกเหนือจากการเน้นครึ่งประสาทและอิเล็กทรอนิกส์หลัก การจัดตั้งพอร์ตที่หลากหลายและวงจรการทํางานที่กว้าง ทําให้ LG-90 เหมาะสมเท่ากันสําหรับการเคลือบระบายว่างและการฝากหนังบางเครื่องปลูกกระจกกระจกเดียว, การละลายด้วยการผลักดันระยะว่าง, การคล้องส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์, และการเคลือบเซลล์ไฟฟ้าไฟฟ้าทําให้สามารถบูรณาการโดยตรงกับโครงสร้างโครงสร้างหลอดสูบแอกุ๊มที่มีอยู่โดยไม่ต้องใช้ตัวปรับแต่งตามความต้องการสําหรับผู้บูรณาการระบบและ OEM เราให้บริการการปรับแต่ง manifold ที่กําหนดเอง และอินเตอร์เฟซโปรโตคอลการสื่อสาร เช่น Modbus RTU และ Profibus DP สําหรับการบูรณาการระบบควบคุมระยะว่าง
บรรจุภัณฑ์และการประกันคุณภาพEach LG-90 vacuum pump is shipped in a purpose-built wooden export crate with custom-cut high-density foam cushioning that immobilizes the pump during transit while allowing forklift access from all four sidesภายในกระเป๋าสตางค์ประกอบด้วยผนังป้องกันความชื้นและซิลิกาเจลพัสดุแห้งเพื่อป้องกันความหนาแน่นระหว่างการขนส่งสินค้าทางทะเลและการประกอบ rotor ถูกล็อคในตําแหน่งด้วยบราคเก็ตการขนส่งเพื่อป้องกันการวาง brinelling จากการสั่นสะเทือนการขนส่ง.
การรับประกันคุณภาพยาวเกินพื้นโรงงาน: ทุกปั๊มมีการรับประกันครบวงจร 12 เดือน ครอบคลุมวัสดุและความบกพร่องการผลิตด้วยเวลาตอบสนองที่รับประกัน 72 ชั่วโมง สําหรับคําถามทางเทคนิคพาร์ทเนอร์บริการทั่วโลกของเรา ให้บริการในสถานที่ โปรแกรมบํารุงรักษาป้องกัน อุปกรณ์สํารองจริงและการสนับสนุนการทําลายฉุกเฉินสําหรับผู้ประกอบการเรือขนาดใหญ่ เรานําเสนอข้อตกลงระดับการบริการที่กําหนดเอง รวมถึงสต็อคอะไหล่ในสถานที่ การตรวจสอบผลการดําเนินงานประจําไตรมาส และโปรแกรมฝึกอบรมผู้ประกอบการการให้ความมั่นใจว่า โครงสร้างพื้นฐานระบายความว่างของคุณจะให้ผลตอบแทนสูงสุดต่อการลงทุนตลอดอายุการใช้งานของมัน.