अर्धचालक विनिर्माण के लिए अति-कम कंपन सूखी पेंच तेल मुक्त वैक्यूम पंप एलजी-90 90 m3/h

• तेल मुक्त ड्राई ऑपरेशन:कार्यशील कक्ष में शून्य स्नेहन की आवश्यकता होती है, जिससे तेल धुंध संदूषण और अपशिष्ट जल का स्त्राव समाप्त हो जाता है। सेमीकंडक्टर फाउंड्री, इलेक्ट्रॉनिक्स असेंबली प्लांट और फोटोवोल्टिक विनिर्माण सुविधाओं के लिए आवश्यक 100% स्वच्छ वैक्यूम प्रदान करता है जहां प्रक्रिया शुद्धता पर समझौता नहीं किया जा सकता है।
• उच्च वैक्यूम प्रदर्शन:उच्च निर्वात क्षेत्रों में 90 m³/h पंपिंग गति के साथ ≤5 Pa जितना न्यूनतम दबाव प्राप्त करता है, जिससे औद्योगिक चक्रों की मांग के लिए तेजी से निकासी और स्थिर होल्डिंग दबाव सुनिश्चित होता है।
• एयर-कूल्ड थर्मल प्रबंधन:अनुकूलित ताप अपव्यय डिजाइन के साथ कुशल एयर-कूल्ड प्रणाली 4 किलोवाट निरंतर ड्यूटी पर स्थिर ऑपरेटिंग तापमान बनाए रखती है, थर्मल बहाव को खत्म करती है और 24/7 उत्पादन कार्यक्रम के तहत घटक जीवनकाल का विस्तार करती है।
• संक्षारण प्रतिरोधी प्रवाह पथ:विस्तारित सेवा अंतराल पर प्रदर्शन में गिरावट के बिना संघनित गैसों, अम्लीय वाष्प, जल वाष्प और हल्के संक्षारक मीडिया को संभालने के लिए टाइटेनियम मिश्र धातु, एसएस 316 स्टेनलेस स्टील, या नैनो-सिरेमिक अस्तर में उपलब्ध फ्लो-थ्रू घटक।
• स्वचालित शुद्धिकरण प्रणाली:एकीकृत स्व-सफाई तंत्र ऑपरेशन के दौरान संचित कंडेनसेट और बारीक कणों को स्वचालित रूप से हटा देता है, इष्टतम आंतरिक मंजूरी बनाए रखता है और सेमीकंडक्टर और इलेक्ट्रॉनिक्स वातावरण की मांग में दक्षता हानि को रोकता है।
• प्रीमियम बियरिंग और सील पैकेज:बेहतर घूर्णी स्थिरता, 15,000 घंटे से अधिक के विस्तारित रखरखाव अंतराल और प्रक्रिया गैसों की विश्वसनीय रोकथाम के लिए एसकेएफ/एनएसके सटीक बीयरिंग और जर्मन-इंजीनियर्ड मैकेनिकल सील से लैस।
• कम कंपन कम शोर संचालन:सटीक-ग्राउंड हेलिकल प्रोफाइल के साथ गतिशील रूप से संतुलित ट्विन-स्क्रू रोटर ≤73 डीबी के शोर स्तर को प्राप्त करते हैं, जिससे पंप प्रयोगशालाओं, साफ कमरे और शहरी औद्योगिक पार्कों सहित शोर-संवेदनशील सुविधाओं के लिए उपयुक्त हो जाता है।
• पूर्ण अंतर्राष्ट्रीय प्रमाणन सुइट:आईएसओ 9001 गुणवत्ता प्रबंधन के तहत निर्मित, सीई सुरक्षा मानकों के लिए प्रमाणित, और आईएएफ/सीएनएएस मान्यता प्राप्त परीक्षण रिपोर्ट के साथ, दुनिया भर में सीमा शुल्क निकासी और नियामक अनुपालन के लिए संपूर्ण दस्तावेज प्रदान करता है।

LG-90 सीरीज ड्राई ऑयल-फ्री स्क्रू वैक्यूम पंप प्रक्रिया कक्ष में किसी भी स्नेहक के बिना असम्बद्ध वैक्यूम प्रदर्शन प्रदान करने के लिए उन्नत ट्विन-स्क्रू संपीड़न तकनीक का लाभ उठाता है। सटीक सीएनसी-मशीनीकृत मिश्र धातु इस्पात स्क्रू की एक मिलान जोड़ी एक कसकर सहनशील आवास के भीतर सिंक्रनाइज़ काउंटर-रोटेशन में घूमती है, जिससे सीलबंद संपीड़न कोशिकाओं की एक प्रगतिशील श्रृंखला बनती है जो लगातार चूषण बंदरगाह से निकास तक गैस पहुंचाती है। यह सकारात्मक-विस्थापन तंत्र वायुमंडलीय से लेकर परम वैक्यूम तक संपूर्ण ऑपरेटिंग दबाव रेंज में लगातार वॉल्यूमेट्रिक दक्षता प्राप्त करता है, लोब या पंजा पंपों के विपरीत जो उच्च संपीड़न अनुपात में आंतरिक रिसाव से पीड़ित होते हैं।

सेमीकंडक्टर फाउंड्रीज़, इलेक्ट्रॉनिक्स असेंबली प्लांट और फोटोवोल्टिक विनिर्माण सुविधाओं के लिए विशेष रूप से इंजीनियर किया गया, LG-90 उन महत्वपूर्ण परिचालन मांगों को संबोधित करता है जो पारंपरिक तेल-सील पंप पूरा नहीं कर सकते हैं: बैकस्ट्रीमिंग संदूषण से पूर्ण स्वतंत्रता, संघनित वाष्प भार के लिए सहिष्णुता, और हल्के आक्रामक प्रक्रिया रसायन शास्त्र के साथ संगतता। एयर-कूल्ड थर्मल प्रबंधन प्रणाली सक्रिय रूप से एक संकीर्ण बैंड के भीतर ऑपरेटिंग तापमान को नियंत्रित करती है, थर्मल विस्तार को रोकती है जो टिप क्लीयरेंस परिवर्तन और कम डिजाइनों में दक्षता बहाव का कारण बनती है। मल्टी-शिफ्ट उत्पादन वातावरण के लिए, पंप प्री-कंडीशनिंग की आवश्यकता के बिना, सिस्टम एकीकरण को सरल बनाने और सहायक उपकरण लागत को कम करने के बिना -20 डिग्री सेल्सियस से + 80 डिग्री सेल्सियस तक प्रत्यक्ष प्रक्रिया गैस इनलेट तापमान सीमा को स्वीकार करता है।

पंप कैविटी ज्यामिति में एक छोटा, सीधा-थ्रू गैस पथ होता है जिसमें कोई आंतरिक वाल्व नहीं होता है, कोई संपर्क सतह नहीं होती है, और कोई मृत क्षेत्र नहीं होता है जहां अवशेष जमा हो सकते हैं। यह आर्किटेक्चर स्वाभाविक रूप से पार्टिकुलेट फाउलिंग और तरल स्लग अंतर्ग्रहण के प्रति प्रतिरोधी है, जो प्रक्रिया की मजबूती का एक स्तर प्रदान करता है जो सीधे उच्च उत्पादन अपटाइम में तब्दील होता है। प्रत्येक रोटर असेंबली ISO 1940 ग्रेड G2.5 या उससे बेहतर के लिए गतिशील दो-प्लेन संतुलन से गुजरती है, जिसे कम्प्यूटरीकृत माप द्वारा सत्यापित किया जाता है, यह सुनिश्चित करते हुए कि ऑपरेटिंग गति पर अवशिष्ट कंपन 1.8 मिमी/सेकेंड आरएमएस से नीचे रहता है - सेमीकंडक्टर और इलेक्ट्रॉनिक्स अनुप्रयोगों के लिए एक महत्वपूर्ण पैरामीटर जहां कंपन संचरण संवेदनशील डाउनस्ट्रीम प्रक्रियाओं या सटीक उपकरण से समझौता कर सकता है।

संपूर्ण विनिर्माण श्रृंखला में व्यापक गुणवत्ता आश्वासन प्रक्रियाएं लागू होती हैं: कच्चे माल की रासायनिक संरचना का विश्लेषण, ±5 µm सटीकता तक सीएमएम उपकरण का उपयोग करके इन-प्रोसेस आयामी सत्यापन, प्रत्येक इकट्ठे पंप का हीलियम मास स्पेक्ट्रोमीटर रिसाव परीक्षण <1×10&supminus;&sup6; mbar·L/s, और शिपमेंट से पहले फ़ैक्टरी परीक्षण स्टैंड पर पूर्ण-लोड प्रदर्शन वक्र मैपिंग। प्रत्येक पंप अपने व्यक्तिगत परीक्षण प्रमाणपत्र के साथ वास्तविक मापी गई पंपिंग गति, अंतिम दबाव, बिजली की खपत, शोर स्तर और कंपन हस्ताक्षर को रिकॉर्ड करता है - पूर्ण ट्रैसेबिलिटी दस्तावेज जो प्रमुख फार्मास्युटिकल, सेमीकंडक्टर और रासायनिक बहुराष्ट्रीय कंपनियों की योग्यता आवश्यकताओं को पूरा करता है।

LG-90 ड्राई स्क्रू वैक्यूम पंप को औद्योगिक वातावरण की मांग के लिए डिज़ाइन किया गया है जहां तेल मुक्त वैक्यूम, प्रक्रिया गैस अनुकूलता और निर्बाध कर्तव्य चक्र परिचालन आवश्यकताओं को परिभाषित करते हैं। प्राथमिक अनुप्रयोगों में सेमीकंडक्टर वेफर प्रसंस्करण, पीसीबी निर्माण, फ्लैट पैनल डिस्प्ले उत्पादन और इलेक्ट्रॉनिक घटक असेंबली शामिल हैं जहां अल्ट्रा-लो कंपन और कण-मुक्त संचालन उपज हानि को रोकता है। पंप उन प्रक्रियाओं में उत्कृष्टता प्राप्त करता है, जिनमें संघनित वाष्प और गैर-संघनित गैसों के एक साथ संचालन की आवश्यकता होती है, जहां स्वचालित शुद्धिकरण सुविधा ऑपरेटर के हस्तक्षेप के बिना लगातार वैक्यूम स्तर बनाए रखती है।

प्राथमिक सेमीकंडक्टर और इलेक्ट्रॉनिक्स फोकस से परे, बहुमुखी पोर्ट कॉन्फ़िगरेशन और विस्तृत ऑपरेटिंग लिफाफा एलजी -90 को वैक्यूम कोटिंग और पतली-फिल्म जमाव, एकल क्रिस्टल विकास भट्टियों, वैक्यूम इंडक्शन मेल्टिंग, इलेक्ट्रॉनिक घटक एनकैप्सुलेशन और फोटोवोल्टिक सेल लेमिनेशन के लिए समान रूप से उपयुक्त बनाता है। मॉड्यूलर डिज़ाइन मानक आईएसओ-केएफ और आईएसओ-के वैक्यूम फ्लैंज को स्वीकार करता है, जो कस्टम एडेप्टर के बिना मौजूदा वैक्यूम पाइपिंग बुनियादी ढांचे के साथ सीधे एकीकरण को सक्षम बनाता है। सिस्टम इंटीग्रेटर्स और ओईएम के लिए, हम केंद्रीकृत वैक्यूम सिस्टम नियंत्रण एकीकरण के लिए मोडबस आरटीयू और प्रोफिबस डीपी जैसे कस्टम मैनिफोल्ड कॉन्फ़िगरेशन और संचार प्रोटोकॉल इंटरफेस प्रदान करते हैं।

प्रत्येक LG-90 वैक्यूम पंप को कस्टम-कट उच्च-घनत्व फोम कुशनिंग के साथ एक उद्देश्य-निर्मित लकड़ी के निर्यात टोकरे में भेजा जाता है जो चारों तरफ से फोर्कलिफ्ट पहुंच की अनुमति देते हुए पारगमन के दौरान पंप को स्थिर कर देता है। समुद्री माल ढुलाई के दौरान संक्षेपण को रोकने के लिए टोकरे के अंदरूनी हिस्से में वेल्डेड नमी-अवरोधक अस्तर और सिलिका जेल डिसीकेंट पैक शामिल हैं। सभी बंदरगाह के उद्घाटन को सुरक्षात्मक कैप के साथ सील कर दिया गया है, और परिवहन कंपन से बीयरिंग ब्रिनेलिंग को रोकने के लिए रोटर असेंबली को शिपिंग ब्रैकेट के साथ स्थिति में बंद कर दिया गया है।

गुणवत्ता आश्वासन फ़ैक्टरी स्तर से परे तक फैला हुआ है: प्रत्येक पंप पर सामग्री और कारीगरी दोषों को कवर करने वाली 12 महीने की व्यापक वारंटी होती है, जिसमें तकनीकी पूछताछ के लिए 72 घंटे की प्रतिक्रिया समय की गारंटी होती है। अधिकृत सेवा भागीदारों का हमारा वैश्विक नेटवर्क ऑन-साइट कमीशनिंग, निवारक रखरखाव कार्यक्रम, 48 घंटे के प्रेषण के साथ वास्तविक स्पेयर पार्ट्स सूची और आपातकालीन ब्रेकडाउन सहायता प्रदान करता है। बड़े बेड़े ऑपरेटरों के लिए, हम ऑन-साइट स्पेयर पार्ट्स स्टॉक, त्रैमासिक प्रदर्शन ऑडिट और ऑपरेटर प्रशिक्षण कार्यक्रमों सहित अनुकूलित सेवा स्तर के समझौतों की पेशकश करते हैं, यह सुनिश्चित करते हुए कि आपका वैक्यूम इंफ्रास्ट्रक्चर अपने पूरे परिचालन जीवन में निवेश पर अधिकतम रिटर्न प्रदान करता है।