Ultra Düşük titreşimli kuru vida yağsız vakum pompası LG-90 Yarım iletken üretimi için 90 m3/h

• Yağsız Kuru Çalışma:Çalışma odasında sıfır yağlama gerekli olup, yağ buharı kirliliği ve atık su tahliyesi ortadan kaldırılır. Proses saflığının tartışmasız olduğu yarı iletken dökümhaneler, elektronik montaj tesisleri ve fotovoltaik üretim tesisleri için gerekli olan %100 temiz vakum sağlar.
• Yüksek Vakum Performansı:Yüksek vakum bölgelerinde 90 m³/saat pompalama hızıyla ≤5 Pa kadar düşük nihai basınca ulaşarak zorlu endüstriyel döngüler için hızlı tahliye ve istikrarlı tutma basıncı sağlar.
• Hava Soğutmalı Termal Yönetim:Optimize edilmiş ısı dağıtım tasarımına sahip verimli hava soğutmalı sistem, 4 kW sürekli çalışmada sabit çalışma sıcaklığını korur, termal kaymayı ortadan kaldırır ve 7/24 üretim programları kapsamında bileşen ömrünü uzatır.
• Korozyona Dirençli Akış Yolu:Yoğunlaştırılabilir gazlar, asidik buharlar, su buharı ve hafif aşındırıcı ortamları, uzun servis aralıklarında performans kaybı olmadan işlemek için titanyum alaşımı, SS316 paslanmaz çelik veya nano seramik kaplamalı akış bileşenleri mevcuttur.
• Otomatik Temizleme Sistemi:Entegre kendi kendini temizleme mekanizması, çalışma sırasında biriken yoğuşmayı ve ince parçacıkları otomatik olarak gidererek, optimum iç boşlukları korur ve zorlu yarı iletken ve elektronik ortamlarda verimlilik kaybını önler.
• Premium Rulman ve Keçe Paketi:Üstün dönme stabilitesi, 15.000 saati aşan uzatılmış bakım aralıkları ve proses gazlarının güvenilir şekilde tutulması için SKF/NSK hassas rulmanları ve Alman mühendisliği mekanik salmastralarla donatılmıştır.
• Düşük Titreşimli Düşük Gürültülü Çalışma:Hassas taşlanmış sarmal profillere sahip dinamik olarak dengelenmiş çift vidalı rotorlar, ≤73 dB gürültü seviyelerine ulaşarak pompayı laboratuvarlar, temiz odalar ve kentsel endüstriyel parklar gibi gürültüye duyarlı tesisler için uygun hale getirir.
• Tam Uluslararası Sertifikasyon Paketi:ISO 9001 kalite yönetimi altında üretilmiştir, CE güvenlik standartlarına göre sertifikalandırılmıştır ve IAF/CNAS akredite test raporlarıyla birlikte dünya çapında gümrükleme ve mevzuata uygunluk için eksiksiz belgeler sağlar.

LG-90 Serisi Kuru Yağsız Vidalı Vakum Pompası, işlem odasında herhangi bir yağlayıcı olmadan tavizsiz vakum performansı sağlamak için gelişmiş çift vidalı sıkıştırma teknolojisinden yararlanır. Eşleştirilmiş bir çift hassas CNC ile işlenmiş alaşımlı çelik vida, sıkı bir şekilde toleranslı bir mahfaza içinde senkronize ters dönüşle dönerek, gazı emme portundan egzoza kadar sürekli olarak taşıyan, aşamalı bir dizi sızdırmaz sıkıştırma hücresi oluşturur. Bu pozitif yer değiştirme mekanizması, daha yüksek sıkıştırma oranlarında iç sızıntıya maruz kalan loblu veya tırnaklı pompaların aksine, atmosferik basınçtan nihai vakuma kadar tüm çalışma basıncı aralığında tutarlı hacimsel verimlilik sağlar.

Yarı iletken dökümhaneler, elektronik montaj tesisleri ve fotovoltaik üretim tesisleri için özel olarak tasarlanan LG-90, geleneksel yağ sızdırmaz pompaların karşılayamayacağı kritik operasyonel talepleri karşılar: geri akış kirliliğinden mutlak özgürlük, yoğunlaşabilir buhar yüklerine karşı tolerans ve hafif agresif proses kimyalarıyla uyumluluk. Hava soğutmalı termal yönetim sistemi, çalışma sıcaklığını aktif olarak dar bir bant dahilinde düzenleyerek, daha küçük tasarımlarda uç açıklığı değişikliklerine ve verimlilik sapmasına neden olan termal genleşmeyi önler. Çok vardiyalı üretim ortamları için pompa, ön koşullandırma gerektirmeden -20°C ile +80°C arasındaki doğrudan proses gaz giriş sıcaklığı aralığını kabul eder, sistem entegrasyonunu basitleştirir ve yardımcı ekipman maliyetlerini azaltır.

Pompa boşluğu geometrisi, dahili valfleri olmayan, temas eden yüzeyleri olmayan ve kalıntıların birikebileceği ölü bölgeleri olmayan kısa, düz bir gaz yoluna sahiptir. Bu mimari, doğası gereği partikül kirlenmesine ve sıvı sümüklüböcek alımına karşı dirençli olup, doğrudan daha yüksek üretim çalışma süresine dönüşen bir düzeyde proses sağlamlığı sağlar. Her rotor düzeneği, ISO 1940 Sınıf G2.5 veya daha iyisine göre dinamik iki düzlemli dengelemeye tabi tutulur ve bilgisayarlı ölçümle doğrulanır; bu, çalışma hızında kalan titreşimin 1,8 mm/s RMS'nin altında kalmasını sağlar; bu, titreşim aktarımının hassas aşağı akış süreçlerini veya hassas enstrümantasyonu tehlikeye atabileceği Yarı İletken ve Elektronik uygulamaları için kritik bir parametredir.

Kapsamlı kalite güvence prosedürleri üretim zinciri boyunca uygulanır: ham madde kimyasal bileşimi analizi, CMM ekipmanı kullanılarak ±5 µm doğrulukta proses içi boyut doğrulaması, monte edilen her pompanın <1×10&supminus;&sup6; helyum kütle spektrometresi sızıntı testi; mbar·L/s ve sevkıyattan önce fabrika test standında tam yük performans eğrisi haritalaması. Her pompa, ölçülen gerçek pompalama hızını, nihai basıncı, güç tüketimini, gürültü seviyesini ve titreşim imzasını kaydeden ayrı test sertifikasıyla birlikte gönderilir; büyük farmasötik, yarı iletken ve kimya çokuluslu şirketlerinin yeterlilik gereksinimlerini karşılayan eksiksiz izlenebilirlik belgeleri.

LG-90 kuru vidalı vakum pompası, yağsız vakumun, proses gazı uyumluluğunun ve kesintisiz görev döngülerinin operasyonel gereksinimleri tanımladığı zorlu endüstriyel ortamlar için özel olarak tasarlanmıştır. Birincil uygulamalar arasında yarı iletken plaka işleme, PCB üretimi, düz panel ekran üretimi ve ultra düşük titreşim ve parçacıksız çalışmanın verim kaybını önlediği elektronik bileşen montajı yer alır. Pompa, yoğuşabilen buharların ve yoğuşmayan gazların eşzamanlı olarak işlenmesini gerektiren işlemlerde mükemmeldir; otomatik temizleme özelliği, operatörün müdahalesine gerek kalmadan tutarlı vakum seviyelerini korur.

Birincil yarı iletken ve elektronik odağının ötesinde, çok yönlü port konfigürasyonu ve geniş çalışma alanı LG-90'ı vakumlu kaplama ve ince film biriktirme, tek kristal büyütme fırınları, vakum indüksiyonlu eritme, elektronik bileşen kapsülleme ve fotovoltaik hücre laminasyonu için eşit derecede uygun hale getirir. Modüler tasarım, standart ISO-KF ve ISO-K vakum flanşlarını kabul eder ve özel adaptörler olmadan mevcut vakum boru altyapısıyla doğrudan entegrasyon sağlar. Sistem entegratörleri ve OEM'ler için, merkezi vakum sistemi kontrol entegrasyonu için Modbus RTU ve Profibus DP gibi özel manifold konfigürasyonları ve iletişim protokolü arayüzleri sunuyoruz.

Her LG-90 vakum pompası, taşıma sırasında pompayı hareketsiz hale getiren ve dört taraftan forklift erişimine izin veren özel kesimli yüksek yoğunluklu köpük yastıklamalı, amaca yönelik olarak üretilmiş ahşap bir ihracat sandığı içinde gönderilir. Sandığın iç kısmı, okyanus nakliyesi sırasında yoğuşmayı önlemek için kaynaklı nem bariyeri astarı ve silika jel kurutucu paketleri içerir. Tüm bağlantı noktaları açıklıkları koruyucu kapaklarla kapatılmıştır ve taşıma titreşiminden dolayı yatakların kirlenmesini önlemek için rotor düzeneği bir nakliye braketi ile yerine kilitlenmiştir.

Kalite güvencesi fabrika katının ötesine uzanır: Her pompa, malzeme ve işçilik kusurlarını kapsayan 12 aylık kapsamlı bir garantiye sahiptir ve teknik sorularınız için 72 saatlik yanıt süresi garantilidir. Yetkili servis ortaklarından oluşan küresel ağımız, yerinde devreye alma, önleyici bakım programları, 48 saatte sevkiyatla orijinal yedek parça envanteri ve acil arıza desteği sağlar. Büyük filo operatörleri için, yerinde yedek parça stoğu, üç aylık performans denetimleri ve operatör eğitim programları dahil olmak üzere özelleştirilmiş hizmet seviyesi anlaşmaları sunarak vakum altyapınızın operasyonel ömrü boyunca maksimum yatırım getirisi sağlamasını sağlıyoruz.