Extrem vibrationsarme, ölfreie Trockenschrauben-Vakuumpumpe LG-90 90 m³/h für die Halbleiterfertigung

• Ölfreier Trockenbetrieb:Keine Schmierung in der Arbeitskammer erforderlich, die Ölnebelkontamination und Abwasserentladungen eliminiert.Elektronikmontageanlagen, und Photovoltaik-Fertigungsanlagen, bei denen die Prozessreinheit nicht verhandelbar ist.
• Hohe Vakuumleistung:Erreicht einen Enddruck von ≤ 5 Pa bei einer Pumpgeschwindigkeit von 90 m3/h über hohe Vakuumregionen, wodurch eine schnelle Evakuierung und ein stabiler Haltedruck für anspruchsvolle industrielle Zyklen gewährleistet werden.
• Luftgekühlte thermische Verwaltung:Ein leistungsfähiges Lufterkühlsystem mit optimiertem Wärmeabbau ermöglicht eine stabile Betriebstemperatur bei 4 kW Dauerbetrieb,Beseitigung von Wärmedrift und Verlängerung der Lebensdauer von Bauteilen im Rahmen von 24/7 Produktionsplänen.
• Korrosionsbeständiger Strömungsweg:Durchflusskomponenten in Titanlegierung, SS316-Edelstahl oder nano-keramischer Auskleidung zur Handhabung kondensierbarer Gase, saurer Dämpfe, Wasserdampf,und leicht korrosive Medien ohne Leistungsminderung über längere Betriebsintervalle.
• Automatisches Reinigungssystem:Ein integrierter Selbstreinigungsmechanismus entfernt während des Betriebs aufgelagerte Kondensate und Feinstaubpartikel automatisch.Aufrechterhaltung optimaler interner Freigaben und Verhinderung von Effizienzverlusten in anspruchsvollen Umgebungen für Halbleiter und Elektronik.
• Premium Lager- und Dichtungspaket:Ausgerüstet mit SKF/NSK-Genauigkeitslagern und deutsch gebauten mechanischen Dichtungen für eine überlegene Drehstabilität, längere Wartungsintervalle von mehr als 15.000 Stunden,und zuverlässige Eindämmung von Prozessgasen.
• Niedrige Schwingung, geringer Lärm:Dynamisch ausgeglichene zweischraubende Rotoren mit präzisen Schraubprofilen erreichen Geräuschwerte von ≤ 73 dB, wodurch die Pumpe für geräuschempfindliche Einrichtungen, einschließlich Laboratorien, geeignet ist.saubere Räume, und städtischen Industrieparks.
• Vollständige internationale Zertifizierung:Hergestellt nach ISO 9001 Qualitätsmanagement, nach CE-Sicherheitsnormen zertifiziert und mit IAF/CNAS-akkreditierten Prüfberichten versehen,Bereitstellung einer vollständigen Dokumentation für die Zollabfertigung und die Einhaltung der Vorschriften weltweit.

Die Trockenölfreie Schraubvakuumpumpe der Serie LG-90 nutzt eine fortschrittliche Doppelschraubkompressionstechnologie, um eine kompromisslose Vakuumleistung ohne Schmiermittel in der Prozesskammer zu liefern.Ein abgestimmtes Paar von CNC-bearbeiteten Präzisionsschrauben aus Legierungsstahl dreht sich in einer synchronisierten Gegendrehung innerhalb eines eng abgeschalteten Gehäuses, wodurch eine fortschreitende Reihe von versiegelten Kompressionszellen geschaffen wird, die Gas kontinuierlich vom Saugport durch den Abgas transportieren.Dieser Positivverschiebungsmechanismus erzielt eine gleichbleibende volumetrische Effizienz über den gesamten Betriebsdruckbereich von atmosphärischem bis zu ultimativem Vakuum, im Gegensatz zu Lappen- oder Klauenpumpen, die bei höheren Kompressionsverhältnissen unter internen Leckagen leiden.

Speziell für Halbleitergießereien, Elektronikmontageanlagen und Photovoltaik-Fertigungsanlagen entwickelt,Die LG-90 erfüllt die kritischen Betriebsanforderungen, denen herkömmliche öldichte Pumpen nicht gerecht werden können.: absolute Freiheit von Rückströmungskontamination, Toleranz für kondensierbare Dampflast und Kompatibilität mit leicht aggressiven Prozesschemikalien.Das luftgekühlte Wärmemanagementsystem reguliert die Betriebstemperatur aktiv bis zu einem engen Bereich, wodurch die thermische Ausdehnung verhindert wird, die bei kleineren Konstruktionen zu Änderungen der Spitzenfreiheit und Effizienzverschiebungen führt.Die Pumpe akzeptiert einen direkten Prozessgas-Eingangstemperaturbereich von -20 °C bis +80 °C, ohne dass eine Vorkonditionierung erforderlich ist., die Systemintegration zu vereinfachen und die Kosten für Hilfsgeräte zu senken.

Die Pumpenhöhle verfügt über einen kurzen, geraden Gasweg ohne innere Ventile, Kontaktflächen und keine toten Zonen, in denen sich Rückstände ansammeln können.Diese Architektur ist von Natur aus gegen Partikelverunreinigung und flüssige Schleim-Einnahme resistent, die eine hohe Prozessrobustheit bietet, die sich direkt in eine höhere Betriebszeit der Produktion übersetzt. Jede Rotormontage wird einer dynamischen Zwei-Ebenen-Balancierung nach ISO 1940 Grade G2.5 oder besser unterzogen,durch computergestützte Messungen überprüft, so dass die Restvibration bei Betriebsgeschwindigkeit unter 1 bleibt.8 mm/s RMS ∙ ein kritischer Parameter für Halbleiter- und Elektronikanwendungen, bei denen die Vibrationsübertragung sensible nachgelagerte Prozesse oder Präzisionsinstrumentation beeinträchtigen kann.

Über die gesamte Produktionskette hinweg gelten umfassende Verfahren zur Qualitätssicherung: Analyse der chemischen Zusammensetzung der Rohstoffe,Prüfverfahren zur Messprüfung mit CMM-Ausrüstung mit einer Genauigkeit von ±5 μm, Heliummassenspektrometer-Leckageprüfung jeder zusammengebauten Pumpe auf < 1×10&supminus;&sup6; mbar·L/s und Kartierung der Leistungskurve bei voller Belastung am Fabrikprüfstand vor dem Versand.Jede Pumpe wird mit einer individuellen Prüfbescheinigung ausgestattet, in der die tatsächliche gemessene Pumpengeschwindigkeit aufgezeichnet ist., letztendlicher Druck, Stromverbrauch, Lärmpegel und Vibrationssignatur,und chemischen multinationalen Unternehmen.

Die Trockenschraubvakuumpumpe LG-90 ist speziell für anspruchsvolle industrielle Umgebungen entwickelt, wo ölfreies Vakuum, Prozessgaskompatibilität,und ununterbrochene Arbeitszyklen definieren die BetriebsvoraussetzungenZu den wichtigsten Anwendungen gehören die Verarbeitung von Halbleiterwafern, die Herstellung von PCB, die Produktion von Flachbildschirmen,und elektronische Bauteilmontage, bei denen eine sehr geringe Vibration und ein partikelarmer Betrieb einen Ausbeuteverlust verhindern. Die Pumpe ist hervorragend geeignet für Prozesse, bei denen gleichzeitig kondensierbare Dämpfe und nicht kondensierbare Gase behandelt werden müssen.wenn die automatische Säuberungsanlage ohne Eingreifen des Bedieners ein gleichbleibendes Vakuumniveau aufrechterhält.

Neben dem Schwerpunkt auf Halbleiter und Elektronik eignet sich der LG-90 durch die vielseitige Portkonfiguration und den breiten Betriebsbereich gleichermaßen für Vakuumbeschichtung und Dünnschichtdeposition.mit einer Breite von mehr als 20 mm,, Vakuum-Induktionsschmelze, Verkapselung elektronischer Komponenten und Lamination von Photovoltaikzellen.die direkte Integration in die bestehende Vakuumleitungsinfrastruktur ohne benutzerdefinierte Adapter ermöglicht. Für Systemintegratoren und OEMs bieten wir kundenspezifische Vielfaltskonfigurationen und Kommunikationsprotokoll-Schnittstellen wie Modbus RTU und Profibus DP für die zentralisierte Steuerung von Vakuumsystemen an.

Each LG-90 vacuum pump is shipped in a purpose-built wooden export crate with custom-cut high-density foam cushioning that immobilizes the pump during transit while allowing forklift access from all four sidesDas Innere der Kiste umfasst eine geschweißte Feuchtigkeitsbarriere und Silikagel-Trocknungsmittelpakete, um Kondensation während der Seebeförderung zu verhindern.und der Rotorbaugruppe ist mit einer Beförderungshalterung in Position gesperrt, um zu verhindern, dass das Lager durch Transportvibrationen schrumpft.

Die Qualitätssicherung erstreckt sich über den Fabrikboden hinaus: Jede Pumpe ist mit einer umfassenden Garantie von 12 Monaten für Material- und Verarbeitungsfehler versehen.mit einer garantierten Antwortzeit von 72 Stunden für technische AnfragenUnser globales Netzwerk von autorisierten Servicepartnern bietet Inbetriebnahme vor Ort, vorbeugende Wartungsprogramme, Original-Ersatzteilbestand mit 48-Stunden-Versand,und NotfallunterstützungFür große Flottenbetreiber bieten wir maßgeschneiderte Service-Level-Vereinbarungen an, einschließlich Vorräte an Ersatzteilen vor Ort, vierteljährliche Leistungsprüfungen und Betreiber-Schulungsprogramme,Gewährleistung einer maximalen Rendite Ihrer Vakuuminfrastruktur während ihrer gesamten Betriebsdauer.