Bomba de vacío sin aceite de tornillo seco de vibración ultrabaja LG-90 90 m3/h para la fabricación de semiconductores

• Operación en seco sin aceite:No se requiere lubricación en la cámara de trabajo, lo que elimina la contaminación por niebla de aceite y la descarga de aguas residuales. Ofrece un vacío 100 % limpio, esencial para fundiciones de semiconductores, plantas de ensamblaje de productos electrónicos e instalaciones de fabricación fotovoltaica donde la pureza del proceso no es negociable.
• Rendimiento de alto vacío:Alcanza una presión máxima tan baja como ≤5 Pa con una velocidad de bombeo de 90 m³/h en regiones de alto vacío, lo que garantiza una evacuación rápida y una presión de mantenimiento estable para ciclos industriales exigentes.
• Gestión térmica enfriada por aire:El eficiente sistema refrigerado por aire con diseño optimizado de disipación de calor mantiene una temperatura de funcionamiento estable a 4 kW de funcionamiento continuo, eliminando la deriva térmica y extendiendo la vida útil de los componentes en programas de producción de 24 horas al día, 7 días a la semana.
• Ruta de flujo resistente a la corrosión:Componentes de flujo disponibles en aleación de titanio, acero inoxidable SS316 o revestimiento de nanocerámica para manejar gases condensables, vapores ácidos, vapor de agua y medios ligeramente corrosivos sin degradación del rendimiento durante intervalos de servicio prolongados.
• Sistema de Purga Automática:El mecanismo de autolimpieza integrado elimina automáticamente el condensado acumulado y las partículas finas durante el funcionamiento, manteniendo espacios libres internos óptimos y evitando la pérdida de eficiencia en entornos exigentes de semiconductores y electrónica.
• Paquete Premium de rodamientos y sellos:Equipado con rodamientos de precisión SKF/NSK y sellos mecánicos de ingeniería alemana para una estabilidad rotacional superior, intervalos de mantenimiento extendidos que superan las 15 000 horas y una contención confiable de los gases de proceso.
• Operación de baja vibración y bajo nivel de ruido:Los rotores de doble tornillo dinámicamente equilibrados con perfiles helicoidales rectificados con precisión alcanzan niveles de ruido de ≤73 dB, lo que hace que la bomba sea adecuada para instalaciones sensibles al ruido, incluidos laboratorios, salas blancas y parques industriales urbanos.
• Suite completa de certificación internacional:Fabricado bajo la gestión de calidad ISO 9001, certificado según los estándares de seguridad CE y acompañado de informes de prueba acreditados por IAF/CNAS, proporciona documentación completa para el despacho de aduanas y el cumplimiento normativo en todo el mundo.

La bomba de vacío de tornillo seco sin aceite serie LG-90 aprovecha la avanzada tecnología de compresión de doble tornillo para ofrecer un rendimiento de vacío sin concesiones sin ningún lubricante en la cámara de proceso. Un par de tornillos de aleación de acero mecanizados por CNC de precisión giran en contrarrotación sincronizada dentro de una carcasa con tolerancias estrictas, creando una serie progresiva de celdas de compresión selladas que transportan continuamente gas desde el puerto de succión hasta el escape. Este mecanismo de desplazamiento positivo logra una eficiencia volumétrica constante en todo el rango de presión operativa, desde la atmosférica hasta el vacío máximo, a diferencia de las bombas de lóbulos o de garras que sufren fugas internas en relaciones de compresión más altas.

Diseñada específicamente para fundiciones de semiconductores, plantas de ensamblaje de productos electrónicos e instalaciones de fabricación fotovoltaica, la LG-90 aborda las demandas operativas críticas que las bombas selladas con aceite convencionales no pueden satisfacer: ausencia absoluta de contaminación retroactiva, tolerancia a cargas de vapor condensable y compatibilidad con procesos químicos ligeramente agresivos. El sistema de gestión térmica enfriado por aire regula activamente la temperatura de funcionamiento dentro de una banda estrecha, evitando la expansión térmica que provoca cambios en el espacio libre de las puntas y una desviación de la eficiencia en diseños menores. Para entornos de producción de turnos múltiples, la bomba acepta un rango de temperatura de entrada de gas de proceso directo de -20 °C a +80 °C sin necesidad de acondicionamiento previo, lo que simplifica la integración del sistema y reduce los costos de equipos auxiliares.

La geometría de la cavidad de la bomba presenta una ruta de gas corta y recta sin válvulas internas, sin superficies de contacto y sin zonas muertas donde se puedan acumular residuos. Esta arquitectura es inherentemente resistente a la incrustación de partículas y a la ingestión de líquidos, lo que proporciona un nivel de solidez del proceso que se traduce directamente en un mayor tiempo de actividad de producción. Cada conjunto de rotor se somete a un equilibrio dinámico de dos planos según ISO 1940 Grado G2.5 o superior, verificado mediante medición computarizada, lo que garantiza que la vibración residual a la velocidad de funcionamiento permanezca por debajo de 1,8 mm/s RMS, un parámetro crítico para aplicaciones de semiconductores y electrónica donde la transmisión de vibraciones puede comprometer procesos sensibles posteriores o instrumentación de precisión.

Se aplican procedimientos integrales de garantía de calidad a lo largo de toda la cadena de fabricación: análisis de la composición química de la materia prima, verificación dimensional durante el proceso utilizando equipos CMM con una precisión de ±5 µm, pruebas de fugas con espectrómetro de masas de helio de cada bomba ensamblada con una precisión <1×10→&supminus;&sup6; mbar·L/s y mapeo de la curva de rendimiento a plena carga en el banco de pruebas de fábrica antes del envío. Cada bomba se envía con su certificado de prueba individual que registra la velocidad de bombeo medida real, la presión máxima, el consumo de energía, el nivel de ruido y la firma de vibración: documentación de trazabilidad completa que satisface los requisitos de calificación de las principales multinacionales farmacéuticas, de semiconductores y químicas.

La bomba de vacío de tornillo seco LG-90 está diseñada específicamente para entornos industriales exigentes donde el vacío sin aceite, la compatibilidad con el gas de proceso y los ciclos de trabajo ininterrumpidos definen los requisitos operativos. Las aplicaciones principales incluyen el procesamiento de obleas semiconductoras, la fabricación de PCB, la producción de pantallas planas y el ensamblaje de componentes electrónicos, donde la vibración ultrabaja y el funcionamiento sin partículas evitan la pérdida de rendimiento. La bomba sobresale en procesos que requieren el manejo simultáneo de vapores condensables y gases no condensables, donde la función de purga automática mantiene niveles de vacío constantes sin intervención del operador.

Más allá del enfoque principal en semiconductores y electrónica, la configuración de puerto versátil y la amplia gama operativa hacen que el LG-90 sea igualmente adecuado para recubrimiento al vacío y deposición de películas delgadas, hornos de crecimiento monocristalino, fusión por inducción al vacío, encapsulación de componentes electrónicos y laminación de células fotovoltaicas. El diseño modular acepta bridas de vacío estándar ISO-KF e ISO-K, lo que permite la integración directa con la infraestructura de tuberías de vacío existente sin adaptadores personalizados. Para integradores de sistemas y fabricantes de equipos originales, ofrecemos configuraciones de colectores personalizados e interfaces de protocolos de comunicación como Modbus RTU y Profibus DP para la integración de control de sistemas de vacío centralizados.

Cada bomba de vacío LG-90 se envía en una caja de exportación de madera especialmente diseñada con un acolchado de espuma de alta densidad cortado a medida que inmoviliza la bomba durante el transporte y permite el acceso del montacargas desde los cuatro lados. El interior de la caja incluye un revestimiento de barrera contra la humedad soldado y paquetes desecantes de gel de sílice para evitar la condensación durante el transporte marítimo. Todas las aberturas de los puertos están selladas con tapas protectoras y el conjunto del rotor está bloqueado en su posición con un soporte de envío para evitar que los rodamientos se endurezcan debido a la vibración del transporte.

La garantía de calidad se extiende más allá de la fábrica: cada bomba tiene una garantía integral de 12 meses que cubre defectos de materiales y mano de obra, con un tiempo de respuesta garantizado de 72 horas para consultas técnicas. Nuestra red global de socios de servicio autorizados ofrece puesta en marcha in situ, programas de mantenimiento preventivo, inventario de piezas de repuesto originales con despacho en 48 horas y asistencia en caso de avería de emergencia. Para los operadores de flotas grandes, ofrecemos acuerdos de nivel de servicio personalizados que incluyen stock de repuestos en el sitio, auditorías de desempeño trimestrales y programas de capacitación para operadores, lo que garantiza que su infraestructura de vacío brinde el máximo retorno de la inversión durante toda su vida operativa.